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飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀 / PHI nano TOF 3+/TOF-SIMS

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PHI nanoTOF3+，的多功能TOF-SIMS具有更強(qiáng)大的微區(qū)分析能力，更加出色的分析精度

詳細(xì)介紹

PHI nanoTOF3+

特征

的多功能TOF-SIMS具有更強(qiáng)大的微區(qū)分析能力，更加出色的分析精度

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀

新一代 TRIFT 質(zhì)量分析器，更好的質(zhì)量分辨率

適用于絕緣材料的無(wú)人值守自動(dòng)化多樣品分析

的離子束技術(shù)

平行成像 MS/MS 功能，助力有機(jī)大分子結(jié)構(gòu)分析

多功能選配附件

TRIFT分析器適用于各種形狀的樣品寬帶通能量+寬立體接收角度

寬帶通能量、寬立體接受角-適用于各種形貌樣品分析

主離子束激發(fā)的二次離子會(huì)以不同角度和能量從樣品表面飛出，特別是對(duì)于有高度差異和形貌不規(guī)則的樣品，即使相同的二次離子在分析器中會(huì)存在飛行時(shí)間上的差異，因此導(dǎo)致質(zhì)量分辨率變差，并對(duì)譜峰形狀和背景產(chǎn)生影響。 TRIFT質(zhì)量分析器可以同時(shí)對(duì)二次離子發(fā)射角度和能量進(jìn)行校正，保證相同二次離子的飛行時(shí)間一致，所以TRIFT兼顧了高質(zhì)量分辨率和高檢測(cè)靈敏度優(yōu)勢(shì)，而且對(duì)于不平整樣品的成像可以減少陰影效應(yīng)。

實(shí)現(xiàn)高精度分析的一次離子設(shè)備

的離子束技術(shù)實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量分辨

PHI nanoTOF3+ 能夠提供高質(zhì)量分辨和高空間分辨的TOF-SIMS分析:在高質(zhì)量分辨模式下，其空間分辨率優(yōu)于500nm ;在高空間分辨模式下，其空間分辨模式優(yōu)于50 nm。通過(guò)結(jié)合強(qiáng)度高離子源、高精度脈沖組件和高分辨率質(zhì)量分析器，可以實(shí)現(xiàn)低噪聲、高靈敏度和高質(zhì)量分辨率的測(cè)量;在這兩種模式下，只需幾分鐘的測(cè)試時(shí)間，均可完成采譜分析。

前所未見(jiàn)的無(wú)人值守TOF-SIMS自動(dòng)化多樣品分析 -適用于絕緣材料

PHI nanoTOF3+搭載全新開(kāi)發(fā)的自動(dòng)化多樣品分析功能，程序可根據(jù) 樣品導(dǎo)電性自動(dòng)調(diào)整分析時(shí)所需的高度與樣品臺(tái)偏壓，可以對(duì)包括絕緣材料在內(nèi)的各類樣品進(jìn)行無(wú)人值守自動(dòng)化TOF-SIMS分析。整個(gè)分析過(guò)程非常簡(jiǎn)單，只需三步即可對(duì)多個(gè)樣品進(jìn)行表面或深度分析：①在進(jìn)樣室拍攝樣品臺(tái)照片；②在進(jìn)樣室拍攝的照片上分析點(diǎn) ；③按下分析鍵，設(shè)備自動(dòng)開(kāi)始分析。過(guò)去，必須有熟練的操作人員專門操作儀器才能進(jìn)行TOF-SIMS分析；現(xiàn)在，無(wú)論操作人員是否熟練，都可以獲得高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù)

標(biāo)配自動(dòng)化傳樣系統(tǒng)

PHI nanoTOF3+配置了在XPS上表現(xiàn)優(yōu)異的全自動(dòng)樣品傳送系統(tǒng) ：樣品尺寸可達(dá)100mmx100 mm，而且分析室標(biāo)配內(nèi)置樣品托停放裝置；結(jié)合分析序列編輯器（Queue Editor），可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大量樣品的全自動(dòng)連續(xù)測(cè)試。

采用新開(kāi)發(fā)的脈沖氳離子設(shè)備獲得證書的自動(dòng)荷電雙束中和技術(shù)

TOF-SIMS測(cè)試的大部分樣品為絕緣樣品，而絕緣樣品表面通常有荷電效應(yīng)。PHI nanoTOF3+ 采用自動(dòng)荷電雙束中和技術(shù)，通過(guò)同時(shí)發(fā)射低能量電子束和低能量氳離子束，可實(shí)現(xiàn)對(duì)任何類型和各種形貌的絕緣材料的真正自動(dòng)荷電中和，無(wú)需額外的人為操作。

*需要選配Ar離子設(shè)備

遠(yuǎn)程訪問(wèn)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制儀器

PHI nanoTOF3+允許通過(guò)局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)訪問(wèn)儀器。只需將樣品臺(tái)放入進(jìn)樣室，就可以對(duì)進(jìn)樣、換樣、測(cè)試和分析等所有操作進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。我們的專業(yè)人員可以對(duì)儀器進(jìn)行遠(yuǎn)程診斷。

*如需遠(yuǎn)程診斷，請(qǐng)聯(lián)系我們的客戶服務(wù)人員。?

從截面加工到截面分析：只需一個(gè)離子源即可完成

標(biāo)配離子設(shè)備FIB(Focused lon Beam)功能

在PHI nanoTOF3+中，液態(tài)金屬離子具設(shè)備備 FIB功能，可以使用單個(gè)離子設(shè)備對(duì)樣品進(jìn)行橫截面加工和橫截面TOF-SIMS分析。通過(guò)操作計(jì)算機(jī)，可以快速輕松地完成從FIB處理到TOF-SIMS分析的全過(guò)程。此外，可在冷卻條件下進(jìn)行FIB加工。

在選配Ga源進(jìn)行FIB加工時(shí)，可以獲得FIB加工區(qū)域的3D影像；Ga源還可以作為第二分析源進(jìn)行TOF-SIMS分析。

通過(guò)平行成像MS/MS進(jìn)行分子結(jié)構(gòu)分析[選配]

MS/MS平行成像同時(shí)采集MS1/MS2數(shù)據(jù)

在TOF-SIMS測(cè)試中，MS1質(zhì)量分析分析器接收從樣品表面產(chǎn)生的所有二次離子碎片，對(duì)于質(zhì)量數(shù)接近的大分子離子， MS1譜圖難以區(qū)分。通過(guò)安裝串聯(lián)質(zhì)譜MS2，對(duì)于特定離子進(jìn)行碰撞誘導(dǎo)解離生產(chǎn)特征離子碎片，MS2譜圖可以實(shí)現(xiàn) 對(duì)分子結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步鑒定。

PHI nanoTOF3+具備串聯(lián)質(zhì)譜MS/MS平行成像功能，可以同時(shí)獲取分析區(qū)域的MS1和MS2數(shù)據(jù)，為有機(jī)大分子結(jié)構(gòu)解析提供了強(qiáng)有力的工具。