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更新時間:2023-05-30 09:30:01瀏覽次數(shù):308次
聯(lián)系我時,請告知來自 包裝印刷網(wǎng)Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機,是一種研究設備,其專為科學試驗所研發(fā)。該設備即適用于熱蒸發(fā),濺射 ,電子束蒸發(fā),SEM(掃描電子顯微鏡)樣品制備的金屬涂層,也適用于傳統(tǒng)的等離子體工藝。
Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機
Bell Jar 35 等離子設備是一種研究設備,其專為科學試驗所研發(fā)。該設備即適用于熱蒸發(fā),濺射 ,電子束蒸發(fā),SEM(掃描電子顯微鏡)樣品制備的金屬涂層,也適用于傳統(tǒng)的等離子體工藝。
基本設備
。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm
。腔室容積:約35升
。供電電源:230V/16A
氣源
。3個質量流量控制器(MFCs)
真空腔室
。硼硅玻璃材質的玻璃罩,直徑315MMx高500MM
濺射源
。1個濺射源2"-3"+擋板(可為反應過程選配排煙管和進氣口)
基材支架
。直徑140MM(可選擇旋轉型,基材加熱器,基材冷卻裝置)
。可切換為等離子預處現(xiàn)的電極(清洗,活化,蝕刻)
控制系統(tǒng)
。PCCE控制系統(tǒng)(Microsoft Windows XPe)
壓力測量
。Pirani
發(fā)生器
。頻率:40KHz, 功率 0-500W
13.56MHz, 功率 0-300W
。直流偏置電源或單極性脈沖,功率300W,電壓600V,直流電
。發(fā)生器為 0-99% 無級可調(diào)型
真空泵
。規(guī)格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)
其它選項
備件套件,壓力計,腐蝕性氣體設計結構,氣瓶,減壓器,加熱板,溫度顯示器,加熱型腔室,F(xiàn)araday Box, 等離子體聚合配件,試墨水,氧氣發(fā)生器,慢速通風裝置,慢速抽吸裝置,TEM樣品架法蘭,維護/服務,當?shù)卣Z言的文件,現(xiàn)場安裝,包括培訓,可應需求提供的其它選項。
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