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透射電子顯微鏡 H-9500

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更新時間：2023-03-14 12:16:28瀏覽次數(shù)：443次

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產(chǎn)品簡介

原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級水平的半導(dǎo)體，*材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，的工具。 為了滿足這種需求，日立公司研發(fā)出了 H-9500透射電子顯微鏡，此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗證過的各種優(yōu)秀性能，而且配置了很多滿足客戶多種需求的功能，并采用了的數(shù)字技術(shù)，便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。

詳細(xì)介紹

透射電子顯微鏡 H-9500

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透射電子顯微鏡 H-9500

原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡

在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級水平的半導(dǎo)體，*材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，的工具。
為了滿足這種需求，日立公司研發(fā)出了 H-9500透射電子顯微鏡，此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗證過的各種優(yōu)秀性能，而且配置了很多滿足客戶多種需求的功能，并采用了的數(shù)字技術(shù)，便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。

  • 特點(diǎn)

  • 規(guī)格

特點(diǎn)

用戶友好型的操作系統(tǒng)

  • 和Windows®兼容的圖形用戶界面設(shè)計
  • 快速的樣品分析，1分鐘換樣，5分鐘內(nèi)升高壓至(300 kV)
  • 高穩(wěn)定性，高分辨率透射電子顯微鏡

高穩(wěn)定性，高分辨率透射電子顯微鏡

  • 點(diǎn)分辨率為0.18 nm，晶格分辨率為0.1 nm
  • 穩(wěn)定可靠的5軸優(yōu)中心測角臺
  • 性能優(yōu)異，可靠性高

性能優(yōu)異，可靠性高

  • 得到市場驗證的10級加速器電子槍設(shè)計
  • 阻抗式高壓電纜設(shè)計
  • 高檔可選附件

高檔可選附件

  • 通用樣品桿，在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統(tǒng)均可使用
  • 可為原子分辨率的動態(tài)研究提供加熱，冷卻和氣體注入等多種樣品桿

備注：FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。

規(guī)格

項目說明
分辨率 0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(點(diǎn)分辨率)
加速電壓 300kV、200kV*1、100kV*1
放大倍率連續(xù)放大模式 1,000～1,500,000×
選區(qū)模式 4,000～500,000×
低倍模式 200～500×
電子槍燈絲 LaB6(六硼化鑭燈絲，直流加熱)
燈絲交換 自動升降式電子槍
高壓電纜 阻抗電纜
照射系統(tǒng)透鏡 四級透鏡
聚光鏡光闌 4孔可變
探針尺寸 微米束模式：0.05 - 0.2 µm(4級)
納米束模式：1 - 10 nm(4級)
電子束傾斜 ±3°
成像系統(tǒng)透鏡 五級透鏡
聚焦 圖像搖擺調(diào)整
利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償
聚焦優(yōu)化
物鏡光闌 4孔可變光闌
選區(qū)光闌 4孔可變光闌
電子衍射  選區(qū)電子衍射
納米探針電子衍射
會聚束電子衍射
相機(jī)長度 250 - 3,000 mm
樣品室樣品臺 5軸優(yōu)中心海帕測角臺
樣品尺寸 3mmΦ
樣品位置追蹤 X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通過CPU控制馬達(dá)驅(qū)動
樣品位置顯示 自動驅(qū)動，自動跟蹤
樣品傾斜 α = ±15°, β = ±15°
(日立雙傾樣品臺*2)
防污染 冷阱
烘烤功能 中溫烘烤功能
觀察室熒光屏 主屏：110 mmΦ
聚焦屏：30 mmΦ
目鏡 7.5×
照相室區(qū)域選擇 整張照相/半張曝光
膠片 25張(2套膠片盒)
圖形用戶界面  操作系統(tǒng)：Windows XP®
顯示器 19英寸顯示器
功能 數(shù)據(jù)庫，測量，圖像處理
數(shù)碼CCD 相機(jī)*3相機(jī)耦合 透鏡耦合
有效像素 1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率 12位
真空系統(tǒng)電子槍 離子泵：60 L/s
鏡筒 渦輪分子泵：260 L/s
觀察室/照相室 擴(kuò)散泵：280 L/s
前級泵：135 L/min × 3臺
*1
：放大倍率校準(zhǔn)為可選項
*2
：可選件
*3
：本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)

以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時的承諾

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類

  • 聚焦離子束
  • TEM/SEM樣品的前處理裝置

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