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DHFC-1型功能薄膜特性測(cè)試儀

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品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

DHFC-1型功能薄膜特性測(cè)試儀

用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)、功能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的特性。
1、本底真空度：≤10 Pa，真空可控范圍：10～400Pa；
2、襯底加熱溫度：室溫～300℃；
3、測(cè)量范圍：電阻率：0.001～200Ω.cm； 電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm； 電阻：0.001～200Ω.cm；可測(cè)晶片直徑：200mmX200mm間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
4、恒流源：電流量程分為0.1、1、10、100(mA)四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)；誤差<±0.5%；
5、數(shù)字電壓表：量程：0～199.99mV；分辨率：10μV；四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；輸入阻抗>1000MΩ：精度:±0.1%；

6、指針式高阻計(jì)：電阻測(cè)量范圍：1×106～1×1017Ω；精度：±10%±20%；微電流測(cè)試：1×10-5～1×10-14A；額定電壓：10、100、250、500、1000V±5%。

相關(guān)參數(shù) 型號(hào)名稱： DHFC-1型功能薄膜特性測(cè)試儀 主要參數(shù)： 備注：

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