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行業(yè)產(chǎn)品

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喜開理（中國）有限公司


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電動真空閥

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產(chǎn)品型號EVB

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間：2023-02-11 15:54:52瀏覽次數(shù)：270次

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商鋪產(chǎn)品：93條

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產(chǎn)品簡介

【停產(chǎn)產(chǎn)品】代替產(chǎn)品：IAVB系列通過馬達(dá)驅(qū)動調(diào)整閥的開度，實現(xiàn)了多種導(dǎo)率的電動真空閥。行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（前工序）半導(dǎo)體制造工序（后工序）

詳細(xì)介紹

【馬達(dá)驅(qū)動，30點開度設(shè)定】
根據(jù)外部信號通過馬達(dá)驅(qū)動調(diào)整開度。
最小間距0.15mm（NW25時）。
簡易的導(dǎo)率可變系統(tǒng)及真空控制的自動化。

【開度監(jiān)視功能、各種信號輸出功能】
內(nèi)置編碼器，可監(jiān)視當(dāng)前開度。
具備閥開、閥閉狀態(tài)的動作完成信號、報警輸出功能，使用更放心。

型號 名稱 配管方式 備注
EVB※17電動真空閥NW25, 40, 502021年03月31日
銷售中止舊的目錄

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