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MSA-600顯微式激光測振儀

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更新時間：2023-02-08 15:14:27瀏覽次數：321次

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產品簡介

詳細介紹


MSA-600顯微式激光測振儀


產品特點：

? 集多功能于一體的光學測量工作站
? 真正的實時測量，無需數據后處理
? 的亞pm位移分辨率
? 測量速度快，振型可視化顯示
? 操作界面直觀友好
? 全自動化測量，易于集成至商用探針臺上

技術參數：








應用領域：

? 微型結構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動
如：梳齒驅動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

? 微型結構的面內振動

如：梳齒驅動器、MEMS扭轉激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動

? 微型結構的表面形貌

如：梳齒驅動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌






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