探針頭

4（2前/2后）

CCD定位

2（1前/1后）自動定位

測試板尺寸

610mm×508mm

上下板

自動升降裝置、快速夾條

最小測試板尺寸

25mm×50mm

測試電壓

10-500V

測試板厚度

6.0mm

測試電流

10-500mA

測試板最小厚度

0.4mm

開路測試

電容測試/電阻測試（優(yōu)先電容測試）

重復(fù)精度

±2um

短路測試

電容測試/電阻測試（優(yōu)先電容測試）

X/Y分辨率

1um

外型尺寸

2060mm×900mm×1850mm

最小焊盤尺寸

50um

四線低阻測試功能

可選配（最小阻值可測試0.05mΩ）

最小焊盤間距

100um

重量

1200kg

電源電壓

AC220V±5%

工作功率

<2kw

探針壓力

5g（由壓力感應(yīng)控制）

氣壓要求

4bar

測試點數(shù)

2500點/分（視文件情況會有差異）

工作環(huán)境

溫度：18～28℃，濕度：55～63%