設(shè)備簡(jiǎn)介 ：當(dāng)聚合物以類膜的形式稀疏分布時(shí)，通過(guò)UV光照射氧化反映可以進(jìn)行到內(nèi)部， 聚合物最終分解成分子如CO2,H2O, O2, N2等,它們蒸發(fā)或者離散，從表面消失。這些反映形成了清洗的效果。
UV清洗方法對(duì)于大塊的污染來(lái)說(shuō)就比較弱，但可以分解污染膜成分子并且清除。表1通過(guò)玻璃板的接觸角度反映了各種清洗方法之間清洗力度的比較。在水洗中，接觸角度不低于13度,但UV光干洗中，它可能低于4度。
消除有機(jī)污染物，提高濕度增強(qiáng)密著力，此外,結(jié)合傳統(tǒng)的濕式清洗技術(shù)，清洗效果要更準(zhǔn)碗。如圖片1 -3中，濕度隨著清理方法的不同而改變。

UV光清洗技術(shù)可以減少表面污染到少于一個(gè)分子，到目前為止，一直被用于終端過(guò)程。反向的清洗概念(在UV光清洗之后又增加了一個(gè)純水濕洗的過(guò)程)已經(jīng)應(yīng)用到實(shí)際的生產(chǎn)領(lǐng)域。圖形1顯示了UV光清洗移除了幾乎所有的油脂膜之后，表面又被純水清洗，于是所有的自由粒子都被洗掉已達(dá)到一個(gè)無(wú)污染的表面。這是的清洗方法，不僅應(yīng)用到LCD制造中，而且應(yīng)用到了光刻和reticules的制造中。