清洗頭結構包括：兩個超聲波壓力腔 一個真空腔（用來清除塵粒）
噴嘴產生的高壓氣刀有效的清除50-100μm的塵粒。這些塵粒被吸附至真空腔，工件在運行過程中表面會形成一層空氣附著層，超聲波可以有效破壞該附著層，從而使包裹著附著層內的微小顆粒分離出來，最后被真空吸走，達到清洗的目的。

●3μm及以上的塵粒的去除率不低于98%。
●由于*的氣流平衡設計，可同時安裝兩個清洗頭同時工作，進行雙面清洗。
●從中間噴嘴吹出的氣流得到充分的應用，控制了整個氣流和真空，從而保證了持續(xù)的清除性能不受材料厚度的影響。
●高效的氣流控制，一些低壓氣流也能得到應用，減小了損耗。
●非接觸式的清洗方式被清洗的工件免被劃傷或損壞。
●閉環(huán)系統(tǒng)不會破壞生產車間（潔凈室）的氣流平衡。
●不需要高額的消耗品，如高純水或化學藥劑等，同時不需要后續(xù)的烘干，降低了生產成本并縮短了生產線長度。
●超聲波發(fā)生器性能衰減。