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CCD自動對位曝光機

項目類別 : 曝光機

項目名稱 : CCD自動對位曝光機

項目介紹 :

A.一般規(guī)格
曝光系統(tǒng)	光源：鹵化金屬燈，輸出功率5KW，雙燈
	均勻度：≥85%（min/max)
	強度：40mw/cm²
	有效曝光面積：546*622mm
Panel規(guī)格	尺寸：254304.8mm至558.8635mm(1012"至22"25")
	厚度：0.05mm(不含銅)至2.0mm
玻璃尺寸	上：L800W7188t 下：L716W6288t
	PCB靠操作面中間對位
曝光作業(yè)	雙面曝光/內(nèi)層板用底片CCD自動對位系統(tǒng)，每片確認。對準精度±10um
底片尺寸	24"*27" Cycle Time:機械動作12秒+真空延遲+曝光時間
密合模式	真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表顯示)
操作方式	操作系統(tǒng)：PC系統(tǒng)+PLC+人機界面
機臺尺寸	外部尺寸：2962L2622W2040H mm
	輸送面高度：1040mm+50mm(卸下輪子高度可降980)
	機臺重量：3000Kg
公用系統(tǒng)	電力：AC380V 3φ 50/60Hz 24KVA
	氣壓源：5~6Kg/cm2
	冰水系統(tǒng)：7~11℃，60-80L/min
B.系統(tǒng)架構(gòu)
Panel傳送系統(tǒng)	進出料傳動：滾輪帶動PCB
	進料定位：二段式靠邊定位，前緣利用滾輪慢速傳動定位，
	側(cè)邊以伺服馬達靠邊定位
	曝光室進出移載：配合線性滑軌，以伺服馬達帶動移載機構(gòu)
	移載機取置：氣缸帶動取置架上下，真空吸盤組依板寬手動調(diào)整
曝光臺框	玻璃對玻璃方式采用高UV透光率玻璃
	上臺框由伺服馬達帶動開關(guān)，上下框間由四支定位銷定位
	底片吸附在臺面真空槽，PCB以下臺框真空吸附
靜電消除	于進料段裝置上下靜電消除棒
冷卻	燈源冷卻：氣冷，內(nèi)循環(huán)直接氣冷；燈管壽命保固800小時
	燈室冷卻：燈頭部份為空氣冷卻，燈管為間接氣冷
	曝光室冷卻：氣冷，抽取曝光室內(nèi)空氣，經(jīng)HEPA過濾后，再經(jīng)冰水排系統(tǒng)冷卻吹入曝光室內(nèi)，保持曝光室內(nèi)溫度，并控制臺面溫度
	臺面溫度22℃±2℃
潔凈控制	機臺使用99.97%~99.99%HEPA Filter 客戶潔凈室等級需求：Class 10000
UV光源監(jiān)控	光源保護：UV點燈/熄燈/重點燈保護
	功率控制：強弱燈切換
	狀態(tài)監(jiān)視：內(nèi)建電壓、員流、功率及UV強度感測顯示
	遮光器：旋轉(zhuǎn)開啟，裝置于燈室內(nèi)，由馬達帶動
	曝光監(jiān)控：內(nèi)建UV能量積算顯示
KW數(shù)切換	2KW、5KW切換
對位方式	4靶標CCD影像對位
底片固定	臺面玻璃溝槽吸真空
調(diào)整機構(gòu)	微步進馬達驅(qū)動上臺框微調(diào)機構(gòu)
控制方式	自動對位及觸控式熒幕PC+PLC
視覺光源	LED式CCD背光組
底片對位精度	±10μm內(nèi)(不含漲縮)
備注	外觀為不銹鋼