主要技術(shù)特點(diǎn)
·工作可靠
CY-SPX無(wú)油真空泵在半導(dǎo)體、航空航天、石油化工、食品藥品、電力、能源、環(huán)保、汽車、分析測(cè)試
儀器等行業(yè)生產(chǎn)線上常年連續(xù)運(yùn)行,穩(wěn)定可靠,為各行業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究用戶信賴。
·性能優(yōu)良
對(duì)被抽系統(tǒng)無(wú)油污染,創(chuàng)造出了潔凈的真空環(huán)境;
噪音低、振動(dòng)低、溫升低、密封材料性能優(yōu)異、壽命長(zhǎng)達(dá)5年,可靠耐用;
排氣機(jī)構(gòu)部件互不接觸,無(wú)摩擦,效率高;沒有返油與水蒸汽,也不噴油,節(jié)能環(huán)保;
極限壓力低至1Pa以下,可以替代油旋片真空泵。
·性價(jià)比合理
價(jià)格合理,節(jié)省采購(gòu)成本;
運(yùn)動(dòng)件無(wú)摩擦能耗低,配件質(zhì)優(yōu)價(jià)廉,服務(wù)及時(shí)可靠,節(jié)省運(yùn)行成本;
*終產(chǎn)品質(zhì)量好、成品率高、測(cè)試指標(biāo)準(zhǔn)確,節(jié)省產(chǎn)品生產(chǎn)成本;
不需要冷卻水和潤(rùn)滑油,不需要日常維護(hù),節(jié)省人工費(fèi)用。
·應(yīng)用領(lǐng)域
| 工業(yè) | 半導(dǎo)體 | 能源石化 | 食品藥品 | 科學(xué)研究 | 分析測(cè)試 |
真空封裝 存儲(chǔ) | √ | √ | | √ | √ | |
真空爐 | √ | √ | | | √ | |
排氣臺(tái) | √ | √ | | | √ | √ |
烘箱/冷凍干燥 | √ | √ | √ | √ | √ | |
氣體回收/再循環(huán) | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
制冷/空調(diào)管路抽真空 | √ | | | | | |
制動(dòng)/管路抽真空 | √ | √ | √ | √ | √ | |
激光抽真空 | √ | | | | √ | |
分子泵前級(jí) | √ | √ | | √ | √ | √ |
工藝預(yù)抽真空 | √ | √ | √ | √ | | |
鍍膜 | √ | √ | | | √ | √ |
檢漏 | √ | √ | √ | | √ | √ |
手套箱 | √ | √ | | √ | √ | |
質(zhì)譜儀 | | | | | √ | √ |
電子顯微鏡 | | | | | √ | √ |
高能束線/加速器 | | | | | √ | √ |
高真空試驗(yàn)臺(tái) | | | | | √ | |
樣品制備 | | | | | √ | √ |
型號(hào) | CY-SP1000 | CY-SP600 | CY-SP300 | CY-SP150 | |||||
排氣速度 | l/s | 16.6 | 8.7 | 4.3 | 2.0 | ||||
l/min | 996.0 | 522.0 | 258.0 | 120.0 | |||||
m3/h | 59.8 | 31.3 | 15.5 | 7.2 | |||||
cfm | 35.8 | 18.7 | 9.3 | 4.3 | |||||
極限真空度 | Pa | ≦1.0 | ≦1.0 | ≦2.6 | ≦8.0 | ||||
Torr | ≦7.5×10-3 | ≦7.5×10-3 | ≦1.9×10-2 | ≦6.0×10-2 | |||||
mbar | ≦1.0×10-2 | ≦1.0×10-2 | ≦2.6×10-2 | ≦8.0×10-2 | |||||
psi | ≦1.4×10-4 | ≦1.4×10-4 | ≦3.8×10-4 | ≦1.2×10-3 | |||||
噪音值 | dB(A) | ≦63 | ≦63 | ≦63 | ≦57 | ||||
漏率(排氣口和氣鎮(zhèn)閥關(guān)) | 1×10-5Pa·m3/s | ||||||||
*大進(jìn)/排氣壓力 | MPa | 0.1 /0.13 | |||||||
工作環(huán)境溫度 | ℃/℉ | 5~40/41~104 | |||||||
*大水分處理能力 | G/h | 60 | 50 | ||||||
電機(jī) | 輸出功率 | kW/hp | 1.50/2.00 | 0.75/1.00 | 0.55/0.74 | 0.25/0.33 | |||
工作電壓 | VAC | 380/220 | 380/220 | 220 | 380/220 | 220 | 380/220 | 220 | |
轉(zhuǎn)速 | rpm | 1410 | |||||||
進(jìn)/排氣口尺寸 | mm | KF40/16×2 | KF40/16 | KF25/16 | KF25/16 | ||||
重量 | kg | 52 | 36 | 32 | 18 | ||||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | ||||||||
其他 | 帶氣鎮(zhèn)閥 |