微小液體渦輪流量計(jì)是一種采用渦輪原理設(shè)計(jì)專門測(cè)量微小流量的專用流量計(jì)，它具有的精度，特別是在高溫和高壓的條件下也是如此。電子脈沖發(fā)生器也集成在流量計(jì)內(nèi)，在長期連續(xù)工作的條件下也能保持± 1% 的精度和± 0.25% 的重復(fù)性。由于靈巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在工作時(shí)不會(huì)形成沉淀，所以儀表的工作完成是“潔凈”的。適用無雜質(zhì)液體。因此，即使是極為苛刻的要求，例如半導(dǎo)體集成電路和芯片的生產(chǎn)流程中使用的刻蝕劑，具有的耐腐蝕性，并如有一個(gè)極微小的顆粒落下，也會(huì)使芯片成為廢品，這些都能滿足。