INFICON 貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG402-S型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計,價格經(jīng)濟,且可重復(fù)測量基準(zhǔn)壓力。傳感元件自帶的在軌校準(zhǔn)數(shù)據(jù)在更換傳感器時確保了高再現(xiàn)性。
益處
- 測量范圍非常廣,從 5×10-10毫巴至大氣壓(8×10-10 托至大氣壓)
- 10-8… 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護單絲,防止過早燒毀
- 兩根使用壽命長的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
- 易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保高再現(xiàn)性
- RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用
- 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制