設(shè)備名稱：高溫高真空退火爐CSL—2000X-HV
結(jié)構(gòu)特點：•采用SS304不銹鋼真空腔體，尺寸：凈666mm×560mm H
•底部樣品臺電動升降，裝卸樣方便快捷
•真空度：10-6Torr
•工作溫度：2000℃
基本參數(shù) ·電源：AC380V 50/60HZ
•功率：22 KW
•加熱元件：石墨
•加熱空間尺寸 220× 280mm H
•理想放樣空間尺寸；中180mm×160mm H
•加熱元件工作溫度： 2000℃
?升溫速率：室溫-1000℃≤15℃/min，1000-1600℃≤10℃/min，1600-2000℃≤8℃/min;
溫控系統(tǒng)：•PLC+人機(jī)界面控制
•C型熱電偶進(jìn)行測溫和控制
•PID控制
•具有超溫及斷偶報警功能
•控溫精度：±1℃
•可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實時采集（選配)
控制系統(tǒng)：設(shè)備的抽真空，加熱等操作全部在電腦上運行
真空度： •冷態(tài)下可達(dá)到的真空度（真空泵另購）：
8*10-6Torr （采用分子泵機(jī)組，配套抽真空口CF160接口)
5*10-2Torr（采用機(jī)械泵機(jī)組，配套抽真空接口KF40接口)
機(jī)械泵（選配）： •型號：VRD-48
•抽氣口接口尺寸：KF40
•抽氣速率：（48m3/h）13.3L/S
•電機(jī)功率：1500 W
•極限壓強(qiáng)4×10-2 pa
分子泵（選配）： •抽氣速率：700L/s
•極限壓強(qiáng)：6×10-6 Pa
•啟動時間：≤9min
•額定轉(zhuǎn)速：36000rpm/min
•冷卻方式：水冷
•抽氣口接口尺寸：CF160
水冷設(shè)備（選配）：型號：CT-6300
•輸入電壓：220-240V 50HZ
•水箱容量：45L
•水流量：70L/min
氣路系統(tǒng)（選配）：•真空腔室預(yù)留一個抽真空KF40抽真空接口，預(yù)留一個手動排氣口（通空氣），預(yù)留 18 個進(jìn)氣和出氣孔，上、中、下各分布6個氣孔。同時在進(jìn)氣和出氣端共配置3個電 磁閥，可以通過控制面板控制電磁閥的通斷,同時電磁閥出口處安裝卡套接 頭，方便客戶自己手動安裝電磁閥和腔體預(yù)留18個進(jìn)氣孔之間的連接方式。
•其中在一路進(jìn)氣端安裝有一個單向閥門。
設(shè)備外型尺寸：1850mm*1000mm*2080mm*(長寬高）
重量： 約620kg
注意事項：由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向腔室內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安 全，建議使用壓力低于0.02MPa,
建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全；
對于樣品加熱的實驗；不建議關(guān)閉法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，
若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等)
我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，
請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。
降溫時請利用程序降溫，不建議直接降溫，設(shè)備溫度在100℃以上時不要直接關(guān)掉水冷設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問題
