在精細鏡面火花機閉環(huán)與半閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，是用反應(yīng)信號和指令信號的比擬結(jié)果來停止速度和位置控制的。因而，為了進步精細鏡面火花機的加工精度，必需進步檢測元件和檢測系統(tǒng)的精度。由于設(shè)備品種、工作條件和檢測請求不同，因此運用的檢測元件和檢測方式也有很多種。下面我們簡單的說說精細鏡面火花機的幾種檢測方式以及有哪些檢測元件。

       檢查辦法：

　　1、數(shù)字式和模仿式：數(shù)字式是將被丈量停止單位量化后以數(shù)字的方式表示，其特性是被丈量經(jīng)量化后轉(zhuǎn)換成了脈沖個數(shù)，便于數(shù)據(jù)處置。檢測精度取決于丈量單位，檢測安裝比擬簡單，脈沖信號抗干擾才能強。模仿式是將被丈量用連續(xù)的變量來表示，其特性是被丈量用連續(xù)的變量值來表示，可直接丈量被丈量，無須量化，在小量程內(nèi)能夠完成高精度丈量。

　　2、增量式和式：增量式檢測只測位移的增量，每挪動一個丈量單位就發(fā)一個丈量信號，其特性是構(gòu)造簡單。任何一個對中點都能夠作為丈量的起點，但是，在運動過程中，一旦發(fā)作不測中綴，則不能再找到中綴前的位置，只能重新開端。式檢測則無此缺陷，任何位置都由一固定值與之對應(yīng)，但構(gòu)造復(fù)雜。

　　在精細鏡面火花機上常用的滑動導(dǎo)軌有液體靜壓導(dǎo)軌、氣體靜壓導(dǎo)軌和貼塑導(dǎo)軌。

　　1、液體靜壓導(dǎo)軌：在兩導(dǎo)軌工作面間通入具有一定壓力的光滑油，構(gòu)成靜壓油膜，使導(dǎo)軌工作面間處于純液態(tài)摩擦狀態(tài)，摩擦系數(shù)極低，多用于進給運動導(dǎo)軌。

　　2、貼塑導(dǎo)軌：在動導(dǎo)軌的摩擦外表上貼上一層由塑料等其它化學(xué)資料組成的塑料薄膜軟帶，其優(yōu)點是導(dǎo)軌面的摩擦系數(shù)低，且動靜摩擦系數(shù)接近，不易產(chǎn)生匍匐現(xiàn)象；塑料的阻尼性能好，具有吸收振動才能，可減小振動和噪聲；耐磨性、化學(xué)穩(wěn)定性、可加工性能好；工藝簡單、本錢低。

       3、氣體靜壓導(dǎo)軌：在兩導(dǎo)軌工作面間通入具有恒定壓力的氣體，使兩導(dǎo)軌面構(gòu)成平均別離，以得到高精度的運動。這種導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，不易惹起發(fā)熱變形，但會隨空氣壓力動搖而使空氣膜發(fā)作變化，且承載才能小，故常用于負荷不大的場所。