SMC過濾器和過濾芯兩個(gè)有些什么區(qū)別
    SMC過濾器對(duì)在潔凈室及受控環(huán)境中已安裝好了的過濾器進(jìn)行掃描檢漏即現(xiàn)場(chǎng)檢漏(抽檢或全檢),這是過去美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209、美國*技術(shù)條令203和美國航天宇宙局的NASA標(biāo)準(zhǔn)以及現(xiàn)在的ISO標(biāo)準(zhǔn)都規(guī)定了的,我國有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)也不例外。
    SMC過濾器不同的是,過去國外標(biāo)準(zhǔn)都規(guī)定用光度計(jì)方法人工發(fā)塵(DOP)來檢漏,而當(dāng)下游濃度過上游濃度10-4時(shí)即為漏,對(duì)于后來的過濾器這一數(shù)值顯然是不適用的。而我國標(biāo)準(zhǔn)JGJ 71-90《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(以下簡(jiǎn)稱“規(guī)范”),根據(jù)理論研究成果[1],在國內(nèi)外明確規(guī)定用粒子計(jì)數(shù)器法檢漏,可以用大氣塵,必要時(shí)用DOP。
    SMC過濾器是這樣規(guī)定的:“在被檢過濾器上風(fēng)側(cè)測(cè)定大氣塵的微粒數(shù),以≥0·5μm微粒為準(zhǔn),其濃度必須≥3·5×104粒/L;若檢測(cè)過濾器,則以≥0·1μm微粒為準(zhǔn),其濃度必須≥3·5×106~3·5×107粒/L。”
    SMC過濾器當(dāng)按這一規(guī)定檢漏時(shí),應(yīng)在距過濾器表面2~3cm處掃描。其評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)為“由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成的透過率,對(duì)于過濾器,應(yīng)不大于過濾器出廠合格透過率的3倍,對(duì)于過濾器,應(yīng)不大于出廠合格透過率的2倍。”(“規(guī)范”原文“3”和“2”印倒了,規(guī)范說明是對(duì)的)這一檢漏標(biāo)準(zhǔn)被后來許多標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范,包括的《電子廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(報(bào)批稿)所采用。
    SMC過濾器但是,這一檢漏標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)施中并未得到執(zhí)行,一是因?yàn)樘珖?yán),即使按規(guī)定上游濃度達(dá)到3·5×104粒/L,由于zui低的A類過濾器(鈉焰法效率為99·9% )即可具有對(duì)≥0·5μm微粒達(dá)99·999%的效率,不大于3倍的透過率zui多有1粒/L微粒,也不好檢定;
    SMC過濾器因?yàn)槊恳慌_(tái)過濾器的透過率也很難事搞準(zhǔn)確。所以*以來,在實(shí)測(cè)中使用的是一種簡(jiǎn)便方法(對(duì)于不高于ISO 5的潔凈環(huán)境),即,不計(jì)過濾器前濃度(認(rèn)為都符合要求,詳見下文),只要中流量粒子計(jì)數(shù)器(2·83L/min),每分鐘讀數(shù)不大于三個(gè),即認(rèn)為不漏。后來有關(guān)規(guī)范中更放寬到3粒/L為界限。
    事實(shí)證明,當(dāng)ISO 5工作區(qū)高度或其以上某高度的一個(gè)區(qū)域濃度偏大時(shí),用上述方法檢漏,一般均能找到相應(yīng)的漏泄點(diǎn)。
    粒子計(jì)數(shù)器法明顯比光度計(jì)法簡(jiǎn)便,大氣塵法明顯比DOP法沒有污染。但是由于受美國標(biāo)準(zhǔn)影響,上某些域如制藥,仍堅(jiān)持用DOP光度計(jì)法。直到2005年, ISO 14644-1才明確指出:
    (1) SMC過濾器系統(tǒng)檢漏,即對(duì)0·3μm單分散氣溶膠效率不大于99·995%的過濾器(相當(dāng)于我國B~C類過濾器);
    (2) DOP光度計(jì)法只適用于當(dāng)沉積在過濾器和管道上的揮發(fā)性有機(jī)測(cè)試氣溶膠釋放出的氣體對(duì)潔凈室內(nèi)的產(chǎn)品或工藝不是有害的,如核設(shè)施的過濾器檢漏;
    (3)人工氣溶膠的粒子計(jì)數(shù)器法適用于過濾器透過率≤0·0000005%的檢漏,即效率≥99·9999995% (按為對(duì)0·3μm微粒)過濾器檢漏;
    (4)粒子計(jì)數(shù)器法比光度計(jì)法更為靈敏,造成的污染小,對(duì)檢漏來說既有精度也有速度;
    (5)*上游加入的人工氣溶膠有:甲基苯二甲酸鹽、癸二酸二酯、聚苯乙烯乳膠球等。由此可見, ISO標(biāo)準(zhǔn)充分肯定了粒子計(jì)數(shù)器法,并且在氣溶膠源中也列入了大氣氣溶膠。但在具體應(yīng)用上仍著重介紹發(fā)生人工氣溶膠,沒有介紹大氣塵氣溶膠的可行性。
    這就使檢漏不免仍有困難,給系統(tǒng)和過濾器留下附加物質(zhì)。如果可以既用粒子計(jì)數(shù)器,又用大氣塵來檢漏,則是工程上zui簡(jiǎn)捷的辦法。由于現(xiàn)場(chǎng)檢漏對(duì)過濾器既有效率并不感興趣,而關(guān)心的是有無漏孔漏泄,不論何種效率過濾器,只要有漏孔,孔前后壓差一定,就都有相同的漏泄量。因此只需確定漏不漏,而對(duì)漏的定量并無需要,在這一目的下,還必須弄清楚以下問題
    SMC過濾器在進(jìn)行安裝之前千萬不允許打開其包裝膜或者包裝袋，且需要按照其包裝箱上的使用說明書來進(jìn)行存放過濾器，設(shè)備在搬運(yùn)的過程中需要輕拿以及輕放，這樣可以在一定程度上避免出現(xiàn)劇烈的碰撞以及振動(dòng)。
    SMC過濾器的安裝方向必須是正確的，主要采用波紋板組合過濾器在豎向安裝時(shí)，其波紋板需要有效的垂直于地面，設(shè)備在豎向以及框架之間的連接，是嚴(yán)禁出現(xiàn)滲漏、變形、破損和漏膠等。
    SMC過濾器在安裝之后需要有效的保證其內(nèi)壁的清潔且無浮塵等，其主要的檢驗(yàn)方法可以直接采用白綢布擦拭檢查，過濾器安裝前需要對(duì)其潔凈的室內(nèi)進(jìn)行全面的清掃以及擦凈。
    SMC過濾器的核心位置就是芯件，其過濾芯在加工的過程中直接是由不銹鋼鋼絲網(wǎng)以及過濾器框組成，尤其是不銹鋼的鋼絲網(wǎng)非常容易就會(huì)損壞，所以需要進(jìn)行特別的保護(hù)。
    SMC過濾器在工作過一段時(shí)間以后其設(shè)備的芯內(nèi)就會(huì)沉淀了一定的雜質(zhì)，這是設(shè)備中壓力降增大，這樣設(shè)備的流速也會(huì)下降，這是需要及時(shí)的清除其設(shè)備濾芯內(nèi)的雜質(zhì)。
    SMC過濾器在清除雜質(zhì)的過程中需要特別注意其過濾芯上的不銹鋼絲網(wǎng)千萬不能出現(xiàn)損壞以及變形的情況，不然在裝上去的過濾器其過濾后的介質(zhì)純度是達(dá)不到其設(shè)計(jì)要求的。
    一、SMC過濾器安裝應(yīng)注意的問題
    1.工作壓力不過SMC過濾器所標(biāo)明的zui大壓力；
    2.過濾器一般要安裝在后冷卻器和儲(chǔ)氣罐之后，盡量靠近使用點(diǎn)和溫度zui低點(diǎn)。
    3.過濾器不應(yīng)安裝在快速開啟閥之后，并防止回流和沖擊現(xiàn)象。
    4.過濾器應(yīng)垂直安裝，并在下方留有足夠空間更換濾芯。
    5.較大SMC過濾器在管線中應(yīng)有適當(dāng)支撐。
    二、SMC過濾器的工作詳細(xì)流程
    污水進(jìn)入進(jìn)口,在那里其進(jìn)入細(xì)網(wǎng)的中心，然后污水通過細(xì)網(wǎng)從里面出來，進(jìn)入出口。污水過濾器告訴你，多余的固體聚集在細(xì)網(wǎng)的內(nèi)表面上，形成一種過濾物餅，其過濾出來甚至是更細(xì)的顆粒，形成壓差。一旦壓降達(dá)到預(yù)置別，一個(gè)清洗循環(huán)由控制系統(tǒng)激活，通過打開清洗閥大氣排污處，關(guān)閉可選的控制出口閥。因此，壓降在液壓電機(jī)艙和裝配的吸塵器中。壓降形成一個(gè)回沖流，吸收篩網(wǎng)上的灰塵，類似一個(gè)真空清洗器?；叵此诒慌懦鲆簤弘姍C(jī)孔之前通過噴嘴和吸塵器管路。水被排除液壓電機(jī)引起除塵器轉(zhuǎn)動(dòng)，與噴灑機(jī)類似。液壓電機(jī)艙中的壓力降進(jìn)一步迫使除塵器配件由液壓活塞控制呈軸線移動(dòng)，結(jié)合移動(dòng)確保每個(gè)環(huán)節(jié)清理整個(gè)篩網(wǎng)區(qū)。