◆ 外形尺寸（不包括報警燈）

850（W）×1000（D）×1850（H）mm

 ◆ 倉體結構（約200升）

550（W）×700（D）×530（H）mm

 ◆ 電極面積   

550（W）×700（D）×530（H）mm，14層

 ◆ 等離子發(fā)生器（MF）

頻率40KHZ,功率0-3KW連續(xù)調節(jié),自動阻抗匹配

 ◆ 控制系統(tǒng)

有邏輯電路半自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統(tǒng)

日本愛發(fā)科（ULVAC）機械真空泵 VDN901 （23L/S）

進口氣動角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管，

 德國英?？礗nficon高精度真空計、規(guī)管

 ◆ 處理氣體

兩路工藝氣體配置（氬氣、氧氣）美國高精度浮子流量計、針閥，

美國世偉洛克Swagelok不銹鋼拋光氣體管