產(chǎn)品展示
GDR-20PR真空等離子清洗機
【簡單介紹】
【詳細說明】
◆ 外形尺寸
570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 倉體結(jié)構(gòu)(不銹鋼,約20升)
420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 電極面積
250(W) ×190(D) mm,3層
◆ 清洗模式
RIE or DP模式自動轉(zhuǎn)換
◆ 等離子發(fā)生器(韓國KM)
頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配
◆ 控制系統(tǒng)
觸摸屏(7寸)+PLC單步法全自動控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件,
性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)
德國萊寶(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
進口氣動角閥、充氣閥,德國(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制
PID閉環(huán)自動穩(wěn)壓控制
◆ 氣路系統(tǒng)
2路工藝氣體+1路氮氣配置,電子質(zhì)量流量計、針閥,美國飛托克(FITOK)氣體管路
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商鋪:http://terraform.top/st26805/
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