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廣州文明機(jī)電有限公司


JIB-4700F 雙束加工觀察系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2024-11-24 08:35:33瀏覽次數(shù)：30次

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產(chǎn)品簡介

隨著材料構(gòu)造的微細(xì)化和制造過程的復(fù)雜化，形貌觀察、元素分析和晶體分析等的評估技術(shù)也對分辨率和精度有了更高的要求。為了滿足這些需求，JEOL推出新一代雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F。 該設(shè)備的SEM鏡筒中采用了超級混合圓錐形物鏡、GB模

詳細(xì)介紹

  • 雙束加工觀察系統(tǒng) JIB-4700F能進(jìn)行高分辨觀察、高速分析、高速加工的FIB/SEM 裝置。

  • 隨著材料構(gòu)造的微細(xì)化和制造過程的復(fù)雜化，形貌觀察、元素分析和晶體分析等的評估技術(shù)也對分辨率和精度有了更高的要求。為了滿足這些需求，JEOL推出新一代雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F。 該設(shè)備的SEM鏡筒中采用了超級混合圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測器系統(tǒng)，在1kV低加速電壓下,實(shí)現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率,與能獲得300nA探針電流的浸沒式肖特基電子槍組合，可以進(jìn)行高分辨率觀察和高速分析。FIB鏡筒利用探針電流為90nA的高電流密度的Ga離子束，對樣品進(jìn)行高速加工。 利用FIB高速截面加工后的高分辨SEM觀察和使用EDS(能譜儀)及EBSD(晶體取向分析系統(tǒng))等各種分析裝置，可以進(jìn)行高速分析。此外還標(biāo)配了三維分析功能，能以固定的間隔自動(dòng)進(jìn)行截面加工并同時(shí)獲取截面的SEM圖像。

  • 高分辨率SEM觀察

  • 通過采用電磁場疊加的圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測器，在1kV低加速電壓下實(shí)現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率。

  • 高速分析

  • 浸沒式肖特基電子槍與光闌角控制鏡組合，大探針電流分析時(shí)也能保持高分辨率。

  • 高速加工

  • FIB鏡筒利用高電流密度的Ga離子束,對樣品進(jìn)行高速加工。

  • 加強(qiáng)了檢測系統(tǒng)

  • 利用新開發(fā)的同步檢測系統(tǒng)（包括in-lens檢測器），最多能實(shí)時(shí)觀察4個(gè)檢測器的圖像。

  • 擴(kuò)展性

  • 可支持EDS、EBSD、冷凍傳輸系統(tǒng)、冷凍樣品臺(tái)、空氣隔離傳輸系統(tǒng)（Air-isolation transfer vessel）等豐富的選配附件。

  • 三維觀察、三維分析

  • 高分辨率SEM和各種分析單元（選配項(xiàng)）組合，能對圖像和分析數(shù)據(jù)進(jìn)行三維觀察。

  • 樣品臺(tái)聯(lián)動(dòng)功能

  • 利用樣品提取系統(tǒng)（Sample Pick-up System，選配項(xiàng)）和樣品臺(tái)聯(lián)動(dòng)功能，能簡單地提取TEM樣品。

  • 圖像疊加（picture overlay ）系統(tǒng)

  • 通過和附帶光學(xué)顯微鏡的樣品提取系統(tǒng)組合，將光鏡圖像疊加在FIB圖像上，能容易地定出FIB的加工位置。

SEM
加速電壓0.1 ～ 30.0 kV
分辨率 (WD時(shí))1.2 nm (15 kV, GB模式)
1.6 nm (1 kV, GB模式)
倍率x20 ～ 1,000,000 （采用LDF模式）
探針電流1 pA ～ 300 nA
樣品臺(tái)計(jì)算機(jī)控制6軸測角樣品臺(tái)
X: 50 mm, Y: 50mm, Z: 1.5 ～ 40 mm,  R: 360°, T: -5 ～ 70°, FZ: -3.0 ～ +3.0 mm
FIB
加速電壓1 ～ 30 kV
圖像分辨率4.0 nm (30kV)
倍率x50 ～ 1,000,000 (x50 ～ 90在加速電壓為15kV以下時(shí)可以)
探針電流1 pA ～ 90 nA, 13 檔
加工形狀矩形、線、點(diǎn)、圓、位圖

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