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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州德龍激光股份有限公司


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晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備（low-k）

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時(shí)間：2024-07-31 15:06:19瀏覽次數(shù)：45次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：29條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進(jìn)行表面刻線，劃槽加工

詳細(xì)介紹

AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進(jìn)行表面刻線，劃槽加工





▌設(shè)備優(yōu)勢(shì)：

  ◆ 有效減小崩邊和脫層，提高良率

  ◆ 開(kāi)槽寬度，深度可調(diào)節(jié)

  ◆ 全自動(dòng)運(yùn)行，集成保護(hù)液涂覆，晶圓開(kāi)槽，清洗模塊


▌工藝流程：

  保護(hù)液涂覆---激光開(kāi)槽---二流體水清洗





◆ 加工對(duì)象：low-k晶圓

◆ 激光種類：紫外半導(dǎo)體泵浦激光器

◆ 激光功率：≧5W

◆ 冷卻方式：封閉式循環(huán)水冷

◆ X軸：行程450mm，解析度0.1μm

◆ Y軸：行程500mm，解析度0.1μm

◆ Z軸：行程15mm，解析度0.1μm

◆ θ軸：行程120°，解析度0.001°

◆ 開(kāi)槽深度：＞10μm

◆ 切割軸速度：0-500mm/s

◆ 加工尺寸：12寸

◆ 上表面精度：0.01mm/300mm 

◆ 清洗盤轉(zhuǎn)速：2500r/min

◆ 位置精度：0.01°

◆ 加工方式：正面開(kāi)槽，全自動(dòng)加工

◆ 對(duì)焦方式：自動(dòng)對(duì)焦

◆ 打光系統(tǒng)：點(diǎn)光源





▌應(yīng)用材料和領(lǐng)域：

  ◆ 應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)40nm及以下線寬的low-k晶圓的表面開(kāi)槽

  ◆ 適用于表面需要進(jìn)行劃線或者開(kāi)細(xì)槽加工的半導(dǎo)體晶圓


▌加工效果示例圖：

    





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