全自動雙軸切割系統(tǒng)
ADT 8020切割機有兩個對向的主軸,可同時切割晶圓,且產量高。這種高精度系統(tǒng)可切割直徑8"的工件,性能高,運行成本低。
特點和優(yōu)點
靈活:支持3"外徑的有輪轂和無輪轂刀片 1.8kW或2.2 kW高功率主軸(適合嚴苛應用) 高級視覺系統(tǒng),支持連續(xù)變焦縮放 19英寸觸摸屏顯示器,直觀操作界面
易于使用
8020使用ADT直觀的新圖形用戶界面(NUI)進行操作,配備了兩個觸摸屏:19"主屏幕和17"維護屏。維護屏協助執(zhí)行系統(tǒng)設置過程、刀片更換和基本的維護操作。
其它主要特性
氣懸浮軸(X) 快速自動對齊和切割定位,提高產量 自動刀痕檢測和質量分析,實現精度 流程數據記錄和統(tǒng)計分析 使用鎖定式主軸,更換刀片快速簡單 SECS/GEM平臺就緒 可接近系統(tǒng)所有區(qū)域,便于維護
主要應用
硅圓片/分立器件 碳化硅(SiC) 微機電系統(tǒng)(MEMS) 表面聲波元件 玻璃晶片 封裝(QFN、LED等)