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7900 Duo介紹2

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上海精切半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

處理生產(chǎn)挑戰(zhàn)鑒于LED細(xì)分市場(chǎng)不斷增長(zhǎng)，和降低單位生產(chǎn)成本（CoO）的需求，ADT推出了7900Duo型雙主軸系統(tǒng)，在不增加生產(chǎn)占地面積的基礎(chǔ)上，將生產(chǎn)率提高了一倍

詳細(xì)介紹

處理生產(chǎn)挑戰(zhàn)

鑒于LED細(xì)分市場(chǎng)不斷增長(zhǎng)，和降低單位生產(chǎn)成本（CoO）的需求，ADT推出了7900 Duo型雙主軸系統(tǒng)，在不增加生產(chǎn)占地面積的基礎(chǔ)上，將生產(chǎn)率提高了一倍。

7900 Duo系統(tǒng)為需要長(zhǎng)切割周期的應(yīng)用（如圖像傳感器和切割設(shè)備）提供了的解決方案。
除了自動(dòng)視覺(jué)和易于使用的新用戶(hù)界面（NUI）之外，ADT還提供了一項(xiàng)的功能，對(duì)破損晶圓進(jìn)行處理和編程。

7900系列優(yōu)點(diǎn)：

? 兩個(gè)對(duì)向主軸，可同時(shí)切割
? 低振動(dòng)平臺(tái)
? 快速自動(dòng)對(duì)齊和切割定位，提高產(chǎn)量
? 占地面積小，降低擁有成本
? 自動(dòng)刀痕檢測(cè)，提高產(chǎn)量
? 自動(dòng)Y偏移校正，確保精度
? 膠帶表面檢測(cè)，確保一致的切割質(zhì)量
? 觸摸屏用戶(hù)界面

系統(tǒng)規(guī)格：
工件尺寸：
7900 Duo 8" x 8"
7920 Duo 10" x 10"
7930 Duo 12" x 10" 或 12"直徑。
79LD 11" x 11"
刀片尺寸： 2"- 3"
主軸：兩個(gè)相對(duì)主軸，60Krpm，2.5 kW，額定扭矩0.25 Nm

Y1/Y2 軸

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)
控制：線(xiàn)性編碼器
分辨率：0.1 µm
累積精度：1.5 µm
分度精度：1.0 µm
切割范圍： 7900 Duo 8"
7920 Duo 10"
7930 Duo 12"

X 軸
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿
空氣軸承滑塊
傳送速度：高達(dá) 600 mm/sec
切割范圍：410mm

Z1/Z2軸
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿
分辨率：0.2 µm
精度：2.0 µm
重復(fù)精度：1.0 µm
行程：40mm

? 軸

驅(qū)動(dòng)：閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)
精度：4 arc-sec
重復(fù)精度：4 arc-sec
行程：350度

視覺(jué)系統(tǒng)
數(shù)碼攝像機(jī)，F(xiàn)ire wire鏈接
高亮LED照明（直射和斜射）

設(shè)施
電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相
氣體消耗：260 L/min @ 5.5 bar
切割水（各主軸）：3 L/min
主軸水（各主軸）： 1.1 l/min

尺寸 (WxDxH):
875 x 975 x 1450 mm
875×975×1450 mm
重量：900 kg

特點(diǎn)：
自動(dòng)對(duì)齊
自動(dòng)刀痕檢測(cè)
自動(dòng)Y偏移校正