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Xact200離子減薄

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所在地區(qū)：上海上海市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Xact200 執(zhí)行頂端的 TEM/STEM 樣品制備，符合下一代物理 FA 和表征的半導(dǎo)體和納米技術(shù)路線圖要求。Xact200 是第二代系統(tǒng)，地將性的創(chuàng)新 AIM 技術(shù)與集成的 FE SEM 柱、過(guò)程實(shí)時(shí) STEM 成像功能和基于壓電的多軸 eucentric 機(jī)械手結(jié)合在一起。

詳細(xì)介紹

Xact200 執(zhí)行頂端的 TEM/STEM 樣品制備，符合下一代物理 FA 和表征的半導(dǎo)體和納米技術(shù)路線圖要求。

Xact200 是第二代系統(tǒng)，地將性的創(chuàng)新 AIM 技術(shù)與集成的 FE SEM 柱、過(guò)程實(shí)時(shí) STEM 成像功能和基于壓電的多軸 eucentric 機(jī)械手結(jié)合在一起。

Xact200 提供zhuo越的樣品質(zhì)量，顯著縮短周轉(zhuǎn)時(shí)間并提高生產(chǎn)率。

AIM 是專有的自適應(yīng)離子銑削技術(shù)，優(yōu)于傳統(tǒng)的聚焦離子束 (FIB) 和寬離子束 (BIB) 技術(shù)，能夠在大面積上將薄片厚度減小到 15 納米以下，具有無(wú)偽影質(zhì)量、高精度、可控厚度變化和高吞吐量。

系統(tǒng)亮點(diǎn)

  • wu與倫比的質(zhì)量和可以忽略不計(jì)的偽影

  • Si 上約 1nm 的非晶層

  • 常規(guī)薄片減薄至 20nm 以下，覆蓋廣泛的感興趣區(qū)域

  • 減薄至 10nm 支持 1x 技術(shù)節(jié)點(diǎn)

  • 增強(qiáng)的薄片厚度均勻性和穩(wěn)健性

  • 集成 FE SEM/STEM 觀察的高精度銑削

  • AIM 技術(shù)由具有動(dòng)態(tài) Xe 離子束的離子銑削裝置實(shí)現(xiàn)

系統(tǒng)特點(diǎn)

  • 側(cè)視圖和平面視圖 TEM/STEM 準(zhǔn)備

  • 頂部和背面 Delayering

  • 寬高結(jié)構(gòu)的 SEM 橫截面制備

  • SCM 和 SSRM 準(zhǔn)備

  • 準(zhǔn)備極大和極小的物體

  • TSV 和凸點(diǎn) SEM 和 TEM/STEM 準(zhǔn)備

  • 銑削過(guò)程中的實(shí)時(shí) STEM 成像

  • 銑削過(guò)程中的實(shí)時(shí)厚度測(cè)量

  • 使用方便

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