ZLM800雙頻激光干涉儀是德國(guó)Jenaer公司生產(chǎn)的新一代激光干涉儀。把性能穩(wěn)定的氦氖氣體激光與電子電路相結(jié)合，可制造出新型的干涉儀測(cè)量系統(tǒng)。

可編程ASIC裝置可根據(jù)用戶的要求，可提供的個(gè)性話測(cè)量系統(tǒng)。

ZLM800激光干涉儀廣泛應(yīng)用于獨(dú)立校準(zhǔn)系統(tǒng)、多軸定位系統(tǒng)，及快速動(dòng)力學(xué)的全部控制系統(tǒng)。它還可*評(píng)估機(jī)器及機(jī)械的動(dòng)力學(xué)動(dòng)作，以便通過(guò)WINDOWS軟件，按用戶規(guī)定的方式對(duì)該動(dòng)作進(jìn)行分析。

所有模塊化系統(tǒng)均配有超級(jí)蔡司光學(xué)，ZLM800激光干涉儀為用戶所有的應(yīng)用測(cè)量系統(tǒng)提供*的解決方案：

型ZLM800激光干涉儀使用氦氖氣體激光，在雙頻外差中工作。 激光熱穩(wěn)定性為0.002 ppm,兩種模式的640MHz頻率用于信號(hào)處理相當(dāng)于四倍。這種高頻處理信號(hào)可以對(duì)運(yùn)動(dòng)速度非常塊的物體進(jìn)行測(cè)量，而沒(méi)有干擾誤差，信號(hào)延時(shí)非常短。

干涉儀光學(xué)到PC插槽上電子計(jì)數(shù)器電路信號(hào)的傳輸通過(guò)光纖電纜來(lái)進(jìn)行，它可阻止外部電磁環(huán)境的干擾。因此ZLM800適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量環(huán)境及高真空環(huán)境。

作為PC插槽的替代品，可使用獨(dú)立的數(shù)據(jù)處理電子單元，它帶有多個(gè)接口，用于數(shù)據(jù)輸出、連接閉環(huán)控制回路。該型號(hào)的干涉儀可以擴(kuò)展為五軸測(cè)量。

被測(cè)物體zui大速度16m/s 無(wú)干擾誤差時(shí)的分辨率2.5nm（帶平面鏡干涉儀時(shí)為1.25nm） 加速度無(wú)限制 即使非常低的光線水平，探測(cè)信號(hào)也十分穩(wěn)定 信號(hào)延時(shí)<200 ns 激光壽命內(nèi)，頻率穩(wěn)定 對(duì)電磁干擾不敏感 適用于超級(jí)蔡司光學(xué)的高真空

通過(guò)相關(guān)的測(cè)量工具及簡(jiǎn)單的操作，ZLM800干涉儀可完成可靠穩(wěn)定的測(cè)量任務(wù)，*符合ISO9000/9004標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。

ZLM800系統(tǒng)增加了測(cè)量的可靠性和穩(wěn)定性

世界范圍內(nèi)，ISO9000/9004是產(chǎn)品質(zhì)量控制管理的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，嚴(yán)格根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行的質(zhì)量檢測(cè)，可以保證任何制造企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的性能。

測(cè)量的穩(wěn)定性由測(cè)量工具、測(cè)量方法和操作者等多方面因素決定，調(diào)整系統(tǒng)的測(cè)量誤差會(huì)*影響穩(wěn)定性。

一種新的測(cè)量助手，通過(guò)軟件可以zui大限度減小整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的調(diào)整誤差。兩個(gè)四象限傳感器置于激光測(cè)量頭內(nèi)， 一個(gè)用作測(cè)量光束，一個(gè)用作參考光束，保證了干涉儀系統(tǒng)能夠以*的方式與被測(cè)的物體相對(duì)齊。由于大屏幕顯示，對(duì)齊會(huì)顯得非常敏感。

使用調(diào)整助手的優(yōu)點(diǎn):

• 系統(tǒng)調(diào)整精度顯示的建立時(shí)間zui小化
• 即使在zui復(fù)雜的設(shè)置中，激光頭的調(diào)整是必要的程序
• 通過(guò)zui高的可靠性能來(lái)解決調(diào)試的任務(wù)

ZLM800信號(hào)處理電路是以可變成ASIC裝置為基礎(chǔ)的。對(duì)于雙頻激光干涉儀ZLM800，在測(cè)量工作中，不同信號(hào)之間的相互作用，是*沒(méi)有問(wèn)題的。

ZLM800可以與外部計(jì)數(shù)系統(tǒng)相連接。使得測(cè)試設(shè)備和激光測(cè)試儀的比較符合常規(guī)、節(jié)約時(shí)間。該過(guò)程使用實(shí)時(shí)信號(hào)偶合，按照德標(biāo)或標(biāo)準(zhǔn)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。

激光測(cè)試儀作為zui準(zhǔn)確三維測(cè)量工具，測(cè)量數(shù)據(jù)易于記錄，不易丟失。這些優(yōu)點(diǎn)使得ZLM800激光測(cè)試儀是機(jī)器設(shè)備校準(zhǔn)和鑒定使用德理想選擇。

評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)

精準(zhǔn)的測(cè)量方式

即使選用標(biāo)準(zhǔn)的配置，ZLM800激光測(cè)試儀的分辨率也能夠達(dá)到5nm，測(cè)量誤差優(yōu)于1µm/m。這是基于環(huán)境條件（特殊情況下的物質(zhì)溫度）通過(guò)AUK500自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償儀（氣象站）*記錄下來(lái)的情況，并且周圍環(huán)境情況與測(cè)量室內(nèi)條件*。

使用ZLM800激光干涉儀，使得長(zhǎng)度測(cè)量設(shè)備和比較設(shè)備的校準(zhǔn)變得更為容易和簡(jiǎn)單。

周圍環(huán)境對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響可通過(guò)AUK500自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償器或手工輸入來(lái)修正。zui多可使用5個(gè)物質(zhì)溫度傳感器來(lái)補(bǔ)償被測(cè)物體的線性偏移。

ZLM800激光干涉儀帶有WINDOWS™數(shù)據(jù)分析軟件，使得長(zhǎng)度測(cè)量精度極為準(zhǔn)確，而且對(duì)數(shù)據(jù)的分析也極為方便。 可隨意登陸測(cè)量數(shù)據(jù)、表格和圖表，并且可充分利用WINDOWS™程序的各種優(yōu)勢(shì)。無(wú)論是測(cè)量位置、角度或者是直線度，由Carl Zeiss設(shè)計(jì)的軟件可以集成到任何的微軟WINDOWS™系統(tǒng)中。測(cè)量、分析、記錄和數(shù)據(jù)存檔過(guò)程都可在短時(shí)間內(nèi)輕松任意的完成。

在程序設(shè)計(jì)的過(guò)程中，用戶zui關(guān)心的一個(gè)問(wèn)題是測(cè)量結(jié)果的記錄。集成式記錄編輯器使得編輯和打印某條圖表、表格和用戶增加的內(nèi)容更為容易。所有記錄的內(nèi)容都可通過(guò)剪貼板上的中間編輯器來(lái)導(dǎo)出到文字處理器里。

		在準(zhǔn)備和測(cè)量的過(guò)程中，zui重要的信息項(xiàng)目要進(jìn)行明顯的顯示。通過(guò)使用鼠標(biāo)或很少的幾個(gè)按鍵，就可進(jìn)入所有的功能程序中。
要評(píng)估和分析測(cè)量的數(shù)據(jù)，通過(guò)簡(jiǎn)單的操作，就可生成各種圖形和表格。甚至某些極小的細(xì)節(jié)都可囊括進(jìn)去。
		測(cè)得的數(shù)據(jù)可以在文檔卡中存檔。通過(guò)卡片標(biāo)簽，可以多某些特殊數(shù)據(jù)進(jìn)行快速檢索，甚至從大量數(shù)據(jù)中進(jìn)行檢索。