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升降式曝光機(jī)不產(chǎn)生污染的新型環(huán)保光源
閱讀:3193 發(fā)布時(shí)間:2015-10-13升降式曝光機(jī)不產(chǎn)生污染的新型環(huán)保光源
升降式曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。在計(jì)算機(jī)的控制下,升降式曝光機(jī)利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱(chēng)為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光,受電子束輻照后的光刻膠,其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域,從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。
一、升降式曝光機(jī)使用說(shuō)明:
1、首先打開(kāi)上蓋,升降式曝光機(jī)用多功能玻璃清潔劑少許擦拭玻璃的兩面,擦拭清潔*(尤其是初次使用)。
2、把曬版機(jī)的電源插頭在4平方線、220V帶地線的開(kāi)關(guān)上。
3、把電源總開(kāi)關(guān)打開(kāi),紅色指示燈亮,升降式曝光機(jī)按一下開(kāi)燈開(kāi)關(guān),曬版機(jī)燈亮了。
4、升降式曝光機(jī)將待曬網(wǎng)版(或鋼版)放在玻璃適當(dāng)位置,并把兩條吸氣導(dǎo)管放在緊網(wǎng)版的兩側(cè)(忌放在網(wǎng)版圖案上或被網(wǎng)版壓著,否則影響曬版質(zhì)量)或者一條導(dǎo)管放在網(wǎng)版的側(cè)邊,注意導(dǎo)管不能壓著網(wǎng)版的圖案。把上蓋往下拉,鎖緊。
5、選擇好時(shí)間后,把抽氣開(kāi)關(guān)打開(kāi),升降式曝光機(jī)將制版的右邊青色滑動(dòng)開(kāi)關(guān)往前推進(jìn)。十幾秒后上蓋橡皮膠會(huì)慢慢被吸緊壓往網(wǎng)版。
6、觀察電流表的針回到10A之后,把爆光按鈕按下,活動(dòng)門(mén)打開(kāi),此曬版機(jī)時(shí)間工作開(kāi)始;曬網(wǎng)版時(shí)間到,活動(dòng)門(mén)自動(dòng)回到原位。升降式曝光機(jī)此時(shí)如有網(wǎng)版式繼續(xù)類(lèi)似曬,不可關(guān)燈,可連曬版數(shù)小時(shí)。7、關(guān)燈之后,5分鐘反把電源開(kāi)關(guān)關(guān)閉,把曬版總電源關(guān)閉。
8、再次擦拭玻璃,使之保持清潔。
9、把曬版燈關(guān)閉之后,升降式曝光機(jī)禁止即時(shí)開(kāi)燈,要待到3-5分鐘之后再開(kāi)燈。
二、升降式曝光機(jī)特性:
1.LED燈源三年售后全保全免服務(wù)及終身享受。
2.可靠性高,升降式曝光機(jī)超過(guò)長(zhǎng)使用壽命,即亮型光源,沒(méi)有先機(jī)損耗。
3.沒(méi)有紅外線,避免菲林脹縮,穩(wěn)定圖像轉(zhuǎn)移的品質(zhì),*提高產(chǎn)品良率。
4.減少能耗,三年不換燈,沒(méi)有消耗品等物料,節(jié)省80%以上的運(yùn)營(yíng)成本。
5.精度更高,線路解析度可達(dá)50UM,普通曝光機(jī)為100UM。
6.升降式曝光機(jī)更符合環(huán)保要求,沒(méi)有毒水銀,不產(chǎn)生污染的新型環(huán)保光源。