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深圳市圭華智能科技有限公司
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閱讀：150發(fā)布時(shí)間：2024-7-15
作為電子信息工程的重要物質(zhì)基礎(chǔ)，集成電路和半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展對(duì)提高國(guó)民經(jīng)濟(jì)水平和推動(dòng)信息技術(shù)革命有很重要的影響，因此其發(fā)展進(jìn)度一直受到業(yè)內(nèi)外人士的廣泛關(guān)注。隨著科技的飛速發(fā)展，以半導(dǎo)體終端為核心的電子產(chǎn)品不斷更新?lián)Q代，每一次技術(shù)創(chuàng)新都深深影響著我們生活的方方面面。
芯片又稱微芯片和集成電路，是種內(nèi)部有集成電路的硅片，體積通常很小。芯片一般指所有的半導(dǎo)體元件，是在硅板上集成多種電子元件以實(shí)現(xiàn)特定功能的電路模塊。芯片作為電子設(shè)備中很重要的組成部分，廣泛應(yīng)用于軍事工業(yè)、民用、計(jì)算機(jī)技術(shù)等領(lǐng)域，承載著運(yùn)算、存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)處理等功能。
芯片制造工藝復(fù)雜，工序很多，而晶圓切割是半導(dǎo)體封裝測(cè)試過(guò)程中的工序。晶圓切割是將單個(gè)晶圓切割成單個(gè)晶粒單元，但由于晶粒易碎，相互之間的距離較小，還需要注意晶粒不被污染，避免切割時(shí)出現(xiàn)崩碎或破裂的現(xiàn)象，所以晶圓切割對(duì)技術(shù)和切割設(shè)備要求。
在晶圓切割過(guò)程中，通常使用的精密切割設(shè)備是晶圓切割機(jī)。該晶片切割機(jī)可以使安裝在主軸上的磨石高速旋轉(zhuǎn)，從而切割硅晶圓。近年來(lái)，隨著激光技術(shù)發(fā)展，激光切割機(jī)逐漸成為芯片制造領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。由于激光切割是種非接觸式加工工藝，不僅切割精度高、效率高，而且可以避免對(duì)晶體硅表面的損傷，大大提高了芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量和效率。
與傳統(tǒng)切割設(shè)備相比，新型半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)具有明顯的性能優(yōu)勢(shì)。首先，激光晶圓切割機(jī)采用特殊的材料、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，在加工平臺(tái)高速運(yùn)行時(shí)能保持穩(wěn)定性和精度，轉(zhuǎn)速高，效率高。其次，激光晶圓切割機(jī)采用合適波長(zhǎng)、總功率、脈寬和重復(fù)率的激光器，克服了激光劃片帶來(lái)的熔渣污染，顯著提高了切割質(zhì)量。同時(shí)，該裝置還采用了不同像素大小以及感光芯片的攝像頭和鏡頭，可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品輪廓識(shí)別倍數(shù)的水平調(diào)節(jié)。
長(zhǎng)期由于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的技術(shù)落后，中國(guó)一直受制于人。芯片雖小，價(jià)值卻很大，擺脫受限局面的有力辦法就是把生產(chǎn)和制造技術(shù)控制在自己手里。因此，新型半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)的研制成功，對(duì)于提高我國(guó)芯片等智能裝備的制造能力具有非同尋常的意義。
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