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武漢漢鼎激光技術(shù)有限公司


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紫外激光劃片機(jī)

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所在地區(qū)：湖北武漢市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備描述UV激光劃片機(jī)采用紫外激光做為刻蝕光源，通過計(jì)算機(jī)控制平臺(tái)做二維平面內(nèi)的失量運(yùn)動(dòng)，對(duì)工件材料進(jìn)行表面劃線和切割

詳細(xì)介紹

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設(shè)備描述


  UV激光劃片機(jī)采用紫外激光做為刻蝕光源，通過計(jì)算機(jī)控制平臺(tái)做二維平面內(nèi)的失量運(yùn)動(dòng)，對(duì)工件材料進(jìn)行表面劃線和切割。

  UV激光劃片機(jī)廣泛應(yīng)用于硅、鍺、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料的單晶硅、多晶硅、非晶硅片料（如太陽能電池）的劃片、切割。

  紫外激光器采用半導(dǎo)體端面泵浦激光器，輸出355nm紫外激光，取代傳統(tǒng)1064 nm激光（紅外波段），實(shí)驗(yàn)證明：

  ◆對(duì)SunPower電池片，使用紫外激光替代光纖激光劃片，暗光下的光電轉(zhuǎn)換效率明顯提高。

  ◆具有“冷加工"效果，蝕刻中熱影響區(qū)更??；

  ◆激光聚焦光斑直徑與光束質(zhì)量（M2）和波長(zhǎng)成正比。本機(jī)采用的端泵激光器光束質(zhì)量好，且355nm紫外波長(zhǎng)只有光纖激光器激光（1064nm）波長(zhǎng)的三分之一，所以其聚焦光斑更小，刻線更窄。

  ◆二維工作臺(tái)采用伺服(步進(jìn))電機(jī)驅(qū)動(dòng)，可由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制下進(jìn)行各種精確運(yùn)動(dòng)，系統(tǒng)分辨率高。

  ◆全封閉光學(xué)系統(tǒng)，使設(shè)備整機(jī)運(yùn)行更穩(wěn)定，特別適合高精度快速劃片。


技術(shù)參數(shù)


紫外技術(shù)參數(shù).jpg



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