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深圳市冬紅科技有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)HSR-2iX系列
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地深圳市
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更新時(shí)間：2024-11-16 01:58:46瀏覽次數(shù)：32次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 包裝印刷網(wǎng)HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)由磁傳感器感知單元、磁場(chǎng)發(fā)生單元、磁場(chǎng)控制單元、顯控單元等構(gòu)成。綜合了低噪聲磁敏感技術(shù)、消磁線圈優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)、磁場(chǎng)自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)寬頻帶雜散磁場(chǎng)的自動(dòng)跟蹤補(bǔ)償，達(dá)到穩(wěn)定磁場(chǎng)的目的。根據(jù)具體用途，HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)具有三種不同型號(hào)：HSR-2i01、HSR-2i02和HSR-2i03。（特殊情況可定制）
1、系統(tǒng)組成
磁場(chǎng)消除系統(tǒng)主要由磁傳感器感知單元、磁場(chǎng)發(fā)生單元、磁場(chǎng)控制單元、顯控單元等構(gòu)成等幾部分組成。
2、工作原理
通過三分量磁場(chǎng)傳感器實(shí)現(xiàn)雜散磁場(chǎng)的感知，并將感知到的信號(hào)送入智能磁場(chǎng)控制單元；智能磁場(chǎng)控制單元實(shí)時(shí)產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)，該電流通過磁場(chǎng)產(chǎn)生單元產(chǎn)生與雜散磁場(chǎng)方向相反、大小相等的磁場(chǎng)，在工作區(qū)實(shí)現(xiàn)了磁場(chǎng)的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場(chǎng)環(huán)境。
3、磁場(chǎng)產(chǎn)生單元
磁場(chǎng)產(chǎn)生單元實(shí)際上就是三軸磁場(chǎng)線圈，該線圈用以產(chǎn)生與雜散磁場(chǎng)方向相反、大小相等的磁場(chǎng)。
磁場(chǎng)產(chǎn)生單元結(jié)構(gòu)根據(jù)場(chǎng)地的需要可以多樣化安裝，一般有兩種結(jié)構(gòu)。種是采用獨(dú)立的磁場(chǎng)線圈框架套在電鏡外側(cè)；第二種是無需要線圈框架，直接將消磁電纜穿入無磁線槽后固定在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻表面或埋入墻體。由于磁場(chǎng)是矢量，通常需要在X、Y、Z三個(gè)方向產(chǎn)生穩(wěn)定的磁場(chǎng)。
4、磁傳感器感知單元
綜合考慮磁場(chǎng)抵消后磁場(chǎng)的噪聲、穩(wěn)定性和抵消磁場(chǎng)帶寬的要求，選擇合適的三分量磁通門傳感器實(shí)現(xiàn)磁場(chǎng)感知功能。【以用戶實(shí)際要求或者勘測(cè)場(chǎng)地后測(cè)試數(shù)據(jù)為準(zhǔn)】
5、磁場(chǎng)控制單元(Magnetic Control UNIT)
磁場(chǎng)控制單元是磁場(chǎng)消除系統(tǒng)的核心，主要通過高精度傳感器感知的磁場(chǎng)信號(hào)，進(jìn)而通過快速跟蹤算法實(shí)時(shí)消除磁場(chǎng)的擾動(dòng)，保證工作空間磁場(chǎng)基本處于穩(wěn)定無波動(dòng)狀態(tài)。
磁場(chǎng)控制單元采用220V交流供電，非常容易在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)應(yīng)用。
6、顯控軟件
顯控軟件主要有三大功能。
(1) 數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示功能：實(shí)時(shí)顯示磁場(chǎng)的曲線數(shù)據(jù)，便于評(píng)估磁場(chǎng)環(huán)境的質(zhì)量。
(2) 超限報(bào)警功能：根據(jù)預(yù)設(shè)的磁場(chǎng)限制，進(jìn)行報(bào)警。
★★★ 消除效果：
※衰減系數(shù)：α= 20×lg(B1/B2)
※頻率越低，消磁效果越好，本實(shí)驗(yàn)選取了 50Hz 的干擾比較實(shí)驗(yàn)效果。
※X軸方向?qū)?50Hz 干擾消磁前后對(duì)比
消磁前：0.069V×1000×10=690nT
消磁后：0.00019V×1000×10=1.9n
型號(hào) | HSR2iO1 | HSR2iO2 | HSR2iO3 |
用途 | 消除所有類型電子顯微鏡的交流磁場(chǎng) | 消除所有類型電子顯微鏡的交流和直流磁場(chǎng) | 消除半導(dǎo)體潔凈室中CDSEM工具的12kHz磁場(chǎng)。也可以消除這些工具的交流和直流磁場(chǎng) |
消磁線圏 | 干擾磁場(chǎng)消除繞組系統(tǒng)自檢繞組 | 固有地磁場(chǎng)消除繞組 干擾磁場(chǎng)消除繞組 系統(tǒng)自檢繞組 | 固有地磁場(chǎng)消除繞組 干擾磁場(chǎng)消除繞組 系統(tǒng)自檢繞組 |
待消除磁場(chǎng) | X,Y,Z磁場(chǎng) | X,Y,Z 磁場(chǎng) | X.YZ 磁場(chǎng) |
磁場(chǎng)測(cè)量類型 | AC RMS and pk-pk | Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental | Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental |
測(cè)量精度 | ±0.5% Reading ± 100pT | ±0.5% Reading ± 1 nT | ±0.5% Reading ± 1 nT |
磁場(chǎng)動(dòng)態(tài)范圍 | <60 mG （6.0µT） | <4.8 µT pk-pk | 5 μT pk-pk |
頻率帶寬 | 25 Hz 至 3kHz | DC 至 5 kHz | DC 至 12 kHz |
噪聲限值 | <0.7nT RMS(0.1 Hz ~ 3 kHz) | 1.5nTRMS(0.1Hz ~ 5 kHz) | 0.5 nT RMS(0.1 Hz - 12 kHz) |
直流漂移 | N/A | < 2 nT/ 24 hours | < 2 nT/ 24 hours |
直流磁場(chǎng)限值 | N/A | ± 200 μT max | ± 200 μT max |
系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間 | 10 µs 內(nèi) | 10 µs 內(nèi) | 2µs 內(nèi) |
磁場(chǎng)穩(wěn)定性 | <2 nT/24 h@ (20°C?25°C,預(yù)熱0.5 h) | ||
衰減系數(shù) | >50 dB @0.1 Hz >30 dB @50 Hz | >60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @5 kHz | >60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @10 kHz |
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