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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州天弘激光股份有限公司


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自動(dòng)上下料晶圓激光劃片機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2024-08-08 14:21:09瀏覽次數(shù)：62次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

全自動(dòng)上下料，自動(dòng)對(duì)位、劃片速度快，效率高，降低破片率廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓、GPP晶圓的劃線切割以 及Low - K 材料的開槽切割

詳細(xì)介紹

激光器功率:
20w/30w
加工幅面:
5 inch（可兼容 6inch）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

» 該設(shè)備主要針對(duì) GPP 晶圓開發(fā)的一種自動(dòng)切片設(shè)備，配備雙面 CCD 識(shí)別功能
» 下 CCD 功能解決傳統(tǒng)設(shè)備需要晶圓背面蝕刻線槽才能對(duì)位切割的工序，無需背面開槽即可切割
» 同時(shí)可集成上 CCD 對(duì)位晶圓背面蝕刻線槽切割的功能，一機(jī)兩用
» 配備自動(dòng)裂片設(shè)備，操作簡(jiǎn)便效率高
» 設(shè)備廣泛應(yīng)于 GPP晶圓的劃線切割

規(guī)格參數(shù)：

 

設(shè)備型號(hào) TH-6212
激光類型 紅外 IR
激光波長(zhǎng) 1064nm
激光功率 20w/30w
加工晶圓尺寸 5 inch（可兼容 6inch）
劃線速度 150mm/s、200mm/s
劃線線寬 35~45μm
劃線線深 < 120μm（視材料而定）
系統(tǒng)定位精度 ±5μm
重復(fù)定位精度 ±2μm
激光器使用壽命 10 萬小時(shí)
機(jī)器外型尺寸 960*730*1740mm
整機(jī)重量 660kg

 

樣品展示：

 

晶圓正切樣品

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