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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州天弘激光股份有限公司


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全自動晶圓激光打標(biāo)機(jī)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時間:2024-08-08 14:19:32瀏覽次數(shù):120次

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商鋪產(chǎn)品:100條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

該設(shè)備主要針對半導(dǎo)體晶圓中圖形以及標(biāo)識蝕刻加工,運(yùn)用相應(yīng)的精密定位識別系統(tǒng),實現(xiàn)加工件自動識別廣泛應(yīng)于晶圓片中圖形以及標(biāo)識蝕刻加工

詳細(xì)介紹

激光器功率:
3W/5W、20W/30W

產(chǎn)品特點(diǎn):

 

» 該設(shè)備主要針對半導(dǎo)體晶圓中圖形以及標(biāo)識蝕刻加工,運(yùn)用相應(yīng)的精密定位識別系統(tǒng),實現(xiàn)加工件自動識別
» 采用多軸機(jī)器人或搬運(yùn)模組實現(xiàn)自動取放料功能,完成自動化加工
» 廣泛應(yīng)于晶圓片中圖形以及標(biāo)識蝕刻加工

規(guī)格參數(shù):

 

設(shè)備型號 TH-JYA-FLMS20 TH-JYB-FLMS20 TH-JYB-FLMS3 TH-JYB-FLMS5
激光類型 紅外 IR 紫外
激光波長 1064nm 355nm
激光功率 20W/30W 3W/5W
標(biāo)準(zhǔn)位置精度 ±0.1mm
取料裝置 六軸機(jī)械手 多軸伺服模組
定位方式  CCD 輪廓定位 CCD
機(jī)器外型尺寸 1200x1600x2000mm 1280x850x1700mm
激光器使用壽命 10 萬小時 1.5 萬小時

 

樣品展示:

 

晶圓打標(biāo)樣品

晶圓打標(biāo)樣品

晶圓開槽樣品

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