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蘇州天弘激光股份有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
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所 在 地蘇州市
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更新時間:2024-08-08 14:19:32瀏覽次數(shù):120次
聯(lián)系我時,請告知來自 包裝印刷網(wǎng)該設(shè)備主要針對半導(dǎo)體晶圓中圖形以及標(biāo)識蝕刻加工,運(yùn)用相應(yīng)的精密定位識別系統(tǒng),實現(xiàn)加工件自動識別廣泛應(yīng)于晶圓片中圖形以及標(biāo)識蝕刻加工
產(chǎn)品特點(diǎn):
» 該設(shè)備主要針對半導(dǎo)體晶圓中圖形以及標(biāo)識蝕刻加工,運(yùn)用相應(yīng)的精密定位識別系統(tǒng),實現(xiàn)加工件自動識別
» 采用多軸機(jī)器人或搬運(yùn)模組實現(xiàn)自動取放料功能,完成自動化加工
» 廣泛應(yīng)于晶圓片中圖形以及標(biāo)識蝕刻加工
規(guī)格參數(shù):
設(shè)備型號 | TH-JYA-FLMS20 | TH-JYB-FLMS20 | TH-JYB-FLMS3 | TH-JYB-FLMS5 |
激光類型 | 紅外 IR | 紫外 | ||
激光波長 | 1064nm | 355nm | ||
激光功率 | 20W/30W | 3W/5W | ||
標(biāo)準(zhǔn)位置精度 | ±0.1mm | |||
取料裝置 | 六軸機(jī)械手 | 多軸伺服模組 | ||
定位方式 | CCD 輪廓定位 CCD | |||
機(jī)器外型尺寸 | 1200x1600x2000mm | 1280x850x1700mm | ||
激光器使用壽命 | 10 萬小時 | 1.5 萬小時 |
樣品展示:
晶圓打標(biāo)樣品
晶圓開槽樣品
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