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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州天弘激光股份有限公司


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自動上下料晶圓開槽機

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間:2024-08-08 13:07:20瀏覽次數(shù):143次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:100條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓、GPP晶圓的劃線切割以及Low-K 材料的開槽切割全自動上下料,自動對位、劃片速度快,效率高,降低破片率

詳細(xì)介紹

激光器功率:
10w/15w/30w
加工幅面:
5 inch(可兼容 6inch)

產(chǎn)品特點:

 

» 全自動上下料,自動對位、劃片速度快,效率高,降低破片率
» 非接觸式加工,無機械應(yīng)力,芯片質(zhì)量高
» CCD 快速定位功能,可升級雙面 CCD 識別功能
» 大理石基臺,穩(wěn)定可靠,熱變形小
» 劃線工藝專家系統(tǒng)
» 晶圓背面劃刻十字對位線功能
» 配備自動裂片設(shè)備,操作簡便效率高

 

 

 

規(guī)格參數(shù):

 

設(shè)備型號 TH-8211 TH-8212
激光類型 紫外 UV 紫外 UV
激光波長 355nm 355nm
激光功率 10w/15w/30w 10w/15w/30w
加工晶圓尺寸上限 5 inch(可兼容 6inch) 5 inch(可兼容 6inch)
劃線速度 1000/1500/3000mm/s 50/80/100mm/s
劃線線寬 150-300μm 20-40μm
劃線線深 < 10μm(視材料而定) < 120μm(視材料而定)
系統(tǒng)定位精度 ±5μm ±5μm
重復(fù)定位精度 ±2μm ±2μm
激光器使用壽命 1.2 萬小時 1.2 萬小時
機器外型尺寸 1260*1160*1820mm 1260*1160*1820mm
整機重量 1500kg 1500kg

 

樣品展示:

 

晶圓開槽樣品

晶圓開槽樣品

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