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　　Rtec劃痕儀可進(jìn)行劃痕粘著、劃痕和慢速往復(fù)磨損試 驗(yàn)。x、y、z軸都有閉環(huán)控制的編碼器。向下的力實(shí)時(shí)控制。該儀器可用于測(cè)試從納米到幾微米的涂層。
 

　　在線形貌：

　　樣品自動(dòng)移動(dòng)到成像模塊（光學(xué)輪廓儀或原子力顯微鏡），可以創(chuàng)建一個(gè)完整的劃痕的三維圖像。光學(xué)輪廓儀為白光干涉和激光共聚焦顯微鏡相結(jié)合。這種組合可以測(cè)量鋼刮坡，透明涂料（玻璃等），可測(cè)量表面粗糙度，劃痕體積、涂層失效等。用于亞納米分辨率 。
 

　　Rtec劃痕儀參數(shù)：

　　平臺(tái)

　　落地式，臺(tái)式

　　XY 平臺(tái)

　　位移分辨率：0.01um

　　加載分辨率：mN

　　劃痕頭(可更換)

　　納米劃痕

　　摩擦力：1N

　　位移分辨率：0.01 um

　　微劃痕

　　摩擦力：20N

　　位移分辨率：0.01 um

　　宏觀劃痕

　　摩擦力：200N

　　位移分辨率：0.01 um

　　在線形貌

　　白光干涉

　　白光干涉 共聚焦

　　AFM

　　環(huán)境腔

　　150C，800C高溫

　　濕度腔

　　傳感器

　　聲發(fā)射傳感器

　　接觸電阻傳感器