主要技術(shù)參數(shù)：
（1）曝光面積：150mm×150mm；
（2）照明不均勻性： ￡4%（ f150mm范圍）；
（3）分辨力：1.0um（365nm波長(zhǎng)）
（4）對(duì)準(zhǔn)精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸、7英寸；
（6）樣片尺寸：直徑f15mm-- f150mm、厚度0.1mm--6mm；
（7）掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; q:±6°；
（8）掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外LED（進(jìn)口）；
（10）曝光波長(zhǎng)：365nm；
（11）曝光強(qiáng)度：≥15mW/cm2；
（12）曝光定時(shí)：倒計(jì)時(shí)方式(0.1s—9999.9s任意設(shè)定).
技術(shù)構(gòu)成與配置
設(shè)備由曝光頭系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)、CCD對(duì)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)等部分構(gòu)成。
（1）曝光頭系統(tǒng)包括:
◆ 進(jìn)口紫外LED光源模塊；
◆ LED光源整形模塊；
◆ XYZ光源位置調(diào)節(jié)臺(tái)；
◆ 光學(xué)系統(tǒng)（含整形模塊、可變光欄、電子快門(mén)、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、場(chǎng)鏡組、反射鏡組）；
◆ 冷卻風(fēng)扇。
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)包括：
◆ 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)（XY）；
◆ 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)；
◆ 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，采用三爪加球氣浮自動(dòng)調(diào)平方式；
◆ 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，采用電機(jī)加傳感器方式，可數(shù)字分離曝光間隙；
◆ 承片臺(tái)4個(gè)（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸各1個(gè)）；
◆ 掩模夾4個(gè)（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸各1個(gè)）。
（3）CCD對(duì)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括：
◆ 對(duì)準(zhǔn)光源LED燈；
◆ 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體；
◆ 目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）；
◆ 物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）；
◆ CCD部件；
◆ 22英寸寬屏液晶顯示器。
（4）電控系統(tǒng)包括：
◆ 單片機(jī)控制系統(tǒng)；
◆ 紫外LED電源模塊；
◆ 控制柜桌。
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)包括：
◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)、電磁閥驅(qū)動(dòng)、氣動(dòng)儀表等 。
(6)．輔助設(shè)備配置:
◆ 真空泵1臺(tái)（干泵）；
◆ 空氣壓縮機(jī)1臺(tái)；
◆ 配套接管10m；
(7)．備品備件
◆ 對(duì)準(zhǔn)光源燈4只（LED-1W，不包括機(jī)器自帶的兩只）
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