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全自動(dòng)光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)

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德?lián)P光電有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：全自動(dòng)機(jī)型之晶圓傳送為自動(dòng)輸入與輸出，自動(dòng)對(duì)位曝光，可一天24小時(shí)操作，減少人力需求，提高可靠性，增加產(chǎn)量，本公司開(kāi)發(fā)之高產(chǎn)量全自動(dòng)曝光機(jī)，對(duì)位制程每小時(shí)可產(chǎn)出250片以，無(wú)對(duì)位制程每小時(shí)可產(chǎn)出350片以上，產(chǎn)量為業(yè)界，兩倍于其他廠牌機(jī)型。

詳細(xì)介紹

全自動(dòng)光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)

適合工業(yè)界24小時(shí)量產(chǎn)使用

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

全自動(dòng)機(jī)型之晶圓傳送為自動(dòng)輸入與輸出，自動(dòng)對(duì)位曝光，可一天24小時(shí)操作，減少人力需求，提高可靠性，增加產(chǎn)量，本公司開(kāi)發(fā)之高產(chǎn)量全自動(dòng)曝光機(jī)，對(duì)位制程每小時(shí)可產(chǎn)出250片以，無(wú)對(duì)位制程每小時(shí)可產(chǎn)出350片以上，產(chǎn)量為業(yè)界，兩倍于其他廠牌機(jī)型。

曝光燈源

紫外光源機(jī)型有功率 : 350W，500W，1000W，2000W，3500W，5000W 。

曝光光源尺寸 : 4″，6″，8″，10″，12″ 。

波長(zhǎng) : NUV(含365nm，400nm，435nm)，光源平行半角 : 1.5~2.5度(依出光口徑) 。

均勻度: +-3~5%，高壓汞燈泡及電源供應(yīng)器。

影像系統(tǒng)

采用固定倍率鏡頭，預(yù)對(duì)臺(tái)一支或兩支鏡頭做粗定位，進(jìn)片位置兩支鏡頭做初步對(duì)位，曝光位置兩支鏡頭做精密對(duì)位。

相機(jī)可采類(lèi)比或數(shù)位，可使用百萬(wàn)晝素相機(jī)，由PC之客制化對(duì)位軟體，做影像自動(dòng)對(duì)位。

影像打光有 : LED同軸光或環(huán)形光，可選背面對(duì)準(zhǔn)影像系統(tǒng)機(jī)型。

預(yù)對(duì)臺(tái)

可將來(lái)自輸入臺(tái)的基板作靠邊粗定位，以便進(jìn)片手臂送至對(duì)準(zhǔn)臺(tái)做精密對(duì)準(zhǔn)。

輸出入小手臂