奧林巴斯光學測量顯微鏡介紹

值得高度信賴的STM7測量顯微鏡——

以長達一個世紀之久的奧林巴斯技術為依托

STM7測量顯微鏡系列采用了歷代奧林巴斯的技術，并借鑒了長達一個多世紀顯微鏡研發(fā)和50多年測量顯微鏡研發(fā)的經(jīng)驗，品質值得信賴。

• 的光學技術實現(xiàn)對極細微樣品的逼真成像。

• 先進的測量技術實現(xiàn)對樣品的準確測量。

• 自動聚焦和聚焦導航系統(tǒng)使測量更簡單、更精確。

• 全面的可追溯系統(tǒng)可以提供可靠和可信賴的測量。

因此，多年來，奧林巴斯光學測量顯微鏡一直廣受用戶的青睞。

STM7通過整合光學顯微鏡和先進的測量能力實現(xiàn)精確測量

多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能

奧林巴斯測量顯微鏡STM7系列采用了當前光學顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被*消除，以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量。 

 
明場圖像               暗場圖像

 
微分干涉圖像            偏光圖像

花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

為了進一步保證測量精度，STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達亞微米水平，同時確保大程度地降低誤差。

STM7-LF FEM分析

作為高度測量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

隨著現(xiàn)代制造技術日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應了這種與日俱增的需求。

主動反射，共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路

嚴格的可追溯系統(tǒng)確保品質可靠

奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務。

測量顯微鏡溯源系統(tǒng)

STM7的陣容

每一種機型均配備0.1 μm讀數(shù)的3軸測量系統(tǒng)

手動Z軸調焦機型

STM7-SF

配備50mm×50mm的載物臺或100mm×100mm的載物臺

STM7-MF

配備200mm×200mm的載物臺

STM7-LF

配備300mm×300mm的載物臺

電動Z軸調焦機型

STM7-SFA

配備50mm×50mm的載物臺或100mm×100mm的載物臺 

STM7-MFA

配備200mm×200mm的載物臺

STM7-LFA

配備300mm×300mm的載物臺

STM7在設計上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見問題

·         短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。

·         目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時，效率不高。

·         由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量。

STM7解決方案

·         共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100 mm,200 mm x 200 mm,和300 mm x 300 mm)。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。

·         采用離合器系統(tǒng)可以在粗調和微調之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。

·         300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

 
 STM7-CS50(50mm x 50mm)      STM7-CS100(100mm x 100mm)

 
 STM7-CS200(200 mm x 200 mm)   STM7-CS300(300 mm x 300 mm)
 
 

使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察

常見問題

·         大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以測量物鏡或金相物鏡，無法同時滿足多種觀察要求。

STM7解決方案

·         STM7可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉盤后，便可使用金相物鏡。這意味著，STM7將金相光學系統(tǒng)和測量光學系統(tǒng)同時結合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測量大型樣品還是精細樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應并協(xié)助用戶選擇的觀察方法。

測量物鏡

由于測量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候，無需擔心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場。

可以得到和光學顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場觀察之外還可以對應暗場，偏光和微分干涉觀察。

金相物鏡

明場圖像                  暗場圖像

手動調焦和電動調焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動調焦和電動調焦兩個系列

聚焦控制提供手動型和電動型兩種可選方案。請根據(jù)樣品和測量內容選擇符合您需求的機型，而不需要考慮載物臺的尺寸。所有的鏡架均內置Z軸線性標尺，各種型號STM7都可以對應3軸測量。

手動Z軸調焦機型

手動Z軸調焦機型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調焦旋鈕，可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。

電動Z軸調焦機型

使用電動調焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類似手動的方式進行操作，同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。

一個具有突破性設計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性

常見問題

·         其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應的操作單元，因而顯著降低測量效率。

·         眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機的周圍，占用了寶貴的工作空間。

STM7解決方案

操作裝置

對于奧林巴斯測量顯微鏡STM7系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作，包括重置計數(shù)器、照明控制、調焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。

控制箱

各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設計可以大程度地減少占用工作空間。

 
用于手動Z軸調焦機型:STM7-HS手動操作裝置  

用于電動Z軸調焦機型：STM7-MCZ電動操作裝置

大大提高了觀察和測量效率的光源管理器

常見問題

·         傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調節(jié)方式不能實現(xiàn)光強的定量控制。這樣每次測量時的光強無法保持一致，導致測量值也發(fā)生變化。

·         使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時，每次切換物鏡后都需要調節(jié)光強，這使得工作流程非常低效。

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

STM7的光強可定量顯示，這樣就能保證始終在相同條件下實施觀察和測量。

物鏡切換時，無需手動調節(jié)光強
 光強度管理器可以與編碼物鏡轉盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉盤會自動識別目前使用的物鏡，結合光源管理器的預設值功能，可以為每個物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當切換物鏡后，可以自動調節(jié)光強和調整照明方式。象以前每次切換倍率后手動調節(jié)光強的操作，現(xiàn)在就可以省略了。

 5x物鏡光強50       20x物鏡光強70     100x物鏡光強120
 
 

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數(shù)器，確保能隨時迅速地檢查測量結果和設備狀態(tài)。

常見問題

·         需要檢查諸如照明狀態(tài)等設備運行狀以及測量結果時，因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。

STM7解決方案

能一目了然確認當前狀態(tài)的計數(shù)器

計數(shù)器帶有顯示設備狀態(tài)和設置的指示燈，可以簡單的實現(xiàn)對設備當前設定狀態(tài)的確認。X、Y和Z軸的小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

計數(shù)器安裝在鏡架上 

可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數(shù)器

無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上，可拆卸式計數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習慣放置在優(yōu)選位置。當用戶站著進行測量時，可以將計數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側，以方便輕松的觀察和檢查結果。當用戶通過數(shù)碼相機在顯示器上進行觀察和測量，或使用電動Z軸調焦機型時，只需將計數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進行作業(yè)。

計數(shù)器放置在工作臺上

自動聚焦系統(tǒng)具有的重復性

實現(xiàn)更快、更簡單、更精確的高度測量

常見問題

·         進行目視測量時，不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外，這種測量方法非常耗時，效率低下。

STM7解決方案

具有*的重復性、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)

通過將圖案投影在視場范圍內，由操作者確認上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導航系統(tǒng)實現(xiàn)了重復性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像，也會出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導航系統(tǒng)，只需匹配標記便可進行測量，因此減少了操作者的主觀性對測量結果造成的影響。

目視高度測量 
 

聚焦導航系統(tǒng) 
  

 焦點下方           焦點位置          焦點上方

自動聚焦的優(yōu)勢成就快速、高精度的高度測量

常見問題

·         進行目視測量時，不同的操作者得出的高度測量結果也會不一樣。

·         手動高度測量需要操作者反復進行移動載物臺，使用旋鈕調焦的操作，這使測量既耗時又低效。 

·         很難對微小的物體聚焦，比如引線。

STM7解決方案

自動對焦單元：出色的再現(xiàn)性和聚焦速度

無論操作者的經(jīng)驗如何，使用STM7自動對焦單元均可以在短時間內實現(xiàn)高度精確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動反射、共聚焦方法都可以實現(xiàn)穩(wěn)定對焦，而小直徑的激光，也能保證對微小物體，比如引線的自動對焦。

單次對焦模式

執(zhí)行自動聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉為視場中心的清晰對焦。

追蹤模式

啟用具有特色的追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦，即使在移動工作臺的情況下，也可以始終保持合焦狀態(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實施觀察，從而極大地提高了Z軸的測量效率。

實現(xiàn)觀察與測量范圍拓展的配件

帶編碼物鏡轉盤

將編碼物鏡轉盤與數(shù)碼照相機配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率。同時切換倍率時也能與軟件中記錄的校準值和光強連動調整設置。有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇

MM6-EMO /正像單目鏡筒

正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。

STM7-FS/ 腳踏開關

實現(xiàn)了不需要用手進行數(shù)據(jù)傳輸，使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量。

SZ-LW61/ 白光LED照明單元

具有小型，輕便，使用壽命長，功耗低等特點。此外，這款高性價比的LED照明單元也不會發(fā)生閃爍和亮度波動。

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED環(huán)形照明裝置+手動控制單元

SZX-RHS手動控制單元可以實現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明，并提供具有較高色溫的清晰圖像。可以從13種模式中選擇的照明。

旋轉載物臺

使用微調旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊。

STM7-RS100用STM7-CS100 100 mm×100 mm載物臺

STM7-RS200用于STM7-CS200 200 mm×200 mm載物臺

STM7-RS300用于STM7-CS300 300 mm×300mm載物臺

專為更先進測量而設計的系統(tǒng)

測量支持系統(tǒng)

對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。推動以更高精度實現(xiàn)復雜的測量正是開發(fā)全新奧林巴斯測量軟件的原因所在。該軟件亦可與數(shù)碼相機結合使用。

放置樣品后即可開始測量——無需將樣品平行對齊

直接測量

接受STM7輸出的坐標信息進行測量。

再調用測量

經(jīng)過測量或計算之后得到的坐標還可以再用于隨后的測量。這樣就避免了重復同樣的工作，從而實現(xiàn)了更順暢和更高效的工作流程。

虛擬點測量

通過繪制直線和圓形可以形成交點、中點、長度，以及一系列其它的測量項，然后可以在已采集的樣品圖像上將這些測量項作為參考點保留。

對齊測量

原點與X軸均可根據(jù)樣品而設置，這樣即使當樣品沒有和載物臺對齊平行時，也可以進行測量。

原來的軸                 新軸

XZ平面測量

傳統(tǒng)的測量顯微鏡以從俯視觀察到的XY平面的測量為主。為了響應用戶從側視的角度測量斷面方向的需求，奧林巴斯在STM7-BSW中內置了XZ平面測量功能。以前很難實施的測量現(xiàn)在已經(jīng)變得容易多了——例如半球形物體垂直截面的半徑測量，或與基準線相比具有彎曲底部的凹槽的深度測量等。

半球形樣品的半徑測量      凹槽底部與參考線之間的高度測量

記錄重復測量的步驟

宏注冊

可以將經(jīng)常使用的對齊和其它測量步驟組合并定義成單個宏按鈕，這樣每次啟動顯微鏡后，無需從零開始。

重復執(zhí)行測量

通過根據(jù)已記錄的教學列表的指示，簡單地移動載物臺、獲取坐標值，可以輕松地進行重復測量，完成所有的作業(yè)。此功能可用于對相同類型樣品重復執(zhí)行相同的測量項目。此外，如果在已記錄的教學列表中設置了設定值和公差，當測量值超過規(guī)格時，軟件可以自動判定。

NG結果示例

重復執(zhí)行測量的測量點導航

這個功能可以顯示移動到下一個測量點的方向和距離，從而消除了操作者在這一環(huán)節(jié)上的苦惱。該功能還省去了每此移動前需要在圖紙上確認下一個測量點的麻煩，在重復測量的時候提高了操作者作業(yè)的速度。

可以消除測量過程中主觀性影響的便捷功能

自動邊緣檢測

這個功能檢測樣品的邊緣，自動獲取樣品的坐標并測量。因此，操作者不再需要坐標，降低了操作者的主觀性對測量的影響。自動邊緣檢測的另外一個特色是具有定時功能，實現(xiàn)了到規(guī)定的時間后自動獲取坐標。定時功能和腳踏開關功能，使操作者能夠在手不需要離開載物臺手柄的情況下專心測量。

圓形內的自動邊緣檢測         多點自動邊緣檢測

異常點消除

邊緣檢測過程中，可以自動將金屬毛刺等異常點排除在外。這樣，不管樣品的狀態(tài)如何，都會得出一致的測量值計算結果。此外，也可以將被排除的異常點以不同的顏色顯示在屏幕上。

帶有異常點的樣品             異常點消除功能

照明控制

顯微鏡照明的光強也可以通過軟件精確地控制。當注冊重復執(zhí)行測量的教學列表時，也可以保存光強的設置，這樣在重復執(zhí)行測量或自動邊緣檢測過程中，實現(xiàn)了在相同的照明條件下實施測量。

自動倍率識別（可選配，僅適用于編碼物鏡轉盤的配置）

通過使用編碼物鏡轉盤，在切換物鏡時，可以自動調用先前設定好的校準值。這樣可以始終在顯示器上顯示合適的刻度尺。

生成定制報告

一鍵生成報告

測量結果可以一鍵輸出為Excel格式，這避免了在記錄數(shù)據(jù)過程中發(fā)生錯誤的可能性。圖像也可以與測量結果一起粘貼，從而實現(xiàn)了更高效地生成報告。

可選功能：多圖拼接（MIA）功能

拼接多個圖像可以獲得一個具有高倍率的廣域圖像。因為圖像是根據(jù)坐標數(shù)據(jù)拼接而成，因此系統(tǒng)能夠產生高可靠度的圖像。

可選功能：景深擴展（EFI）功能

對于具有不均勻、復雜表面形狀的樣品，EFI功能能非常有效地獲取在整個高度范圍內都有良好聚焦的圖像。使用EFI功能時，移動Z軸獲得多張不同焦點位置的圖像，再進行圖像處理，后合成為一張全面對焦的圖像。如果使用電動Z軸模塊可以實現(xiàn)一鍵自動圖像合成。