落地型薄膜控制旋轉涂布機

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更新時間：2023-06-29 13:52:47瀏覽次數(shù)：183次

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東莞勝柏電子有限公司

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產品簡介

設備概要：適用尺寸：2"~12"Wafer基材

詳細介紹

設備概要：
適用尺寸：2"~ 12"Wafer基材。
基本規(guī)格：
外觀材質：PP板組合焊接而成，可以耐酸堿侵蝕。
操作盆罩：SUS制，圓盆型設計。
盆罩掀蓋：分離式透明PVC上蓋。
吸盤規(guī)格：一組鋁制吸盤精密研模陽極保護。
操作方式：手動直接輸入。
入料方式：手動給料。
液體種類：光阻劑，溶劑。
馬達：AC Servo Motor（轉速：10~6000 RPM）。
含真空幫浦（附PP防塵外罩）。
真空滲液保護：有，間接式防護設計。
真空簡檢知：有（可數(shù)位設計真空值kpa下限保護）。
保護裝置：有。
保護制御：有一本裝置的全部狀態(tài)，異常檢出。
電控系統(tǒng)：-軟件：PLC。
使用操作界面：中文彩色觸控面板。
配方模塊：30組配方設定。
段數(shù)設定：每一配方模塊均設30段段數(shù)。

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