无码国产精品一区二区免费16-奶头好大揉着好爽视频-亚洲人成网站在线观看播放-国产日韩精品suv-国产精品日韩欧美一区二区三区

行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司


當(dāng)前位置：蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>>>Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

返回列表頁(yè)
參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)pfeiffer普發(fā)

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

包裝印刷網(wǎng)采購(gòu)部電話(huà)：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-05-08 11:33:28瀏覽次數(shù)：417次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 包裝印刷網(wǎng)

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：22條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：李小姐,陳先生

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

類(lèi)型：無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌：pfeiffer普發(fā)型號(hào)：APA 302描述：普發(fā)污染管理解決方案

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境


普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg


產(chǎn)品規(guī)格：

  • 應(yīng)用:

    用于無(wú)菌室, 環(huán)境

產(chǎn)品介紹：

在潔凈室環(huán)境下，APA 302 是用于*芯片制造的在線(xiàn)監(jiān)測(cè)工具。這臺(tái)革新性設(shè)備可以測(cè)量 FOUP 和周?chē)h(huán)境中的空氣分子污染物（簡(jiǎn)稱(chēng) AMC）。該測(cè)量實(shí)時(shí)發(fā)生，在 ppbv 范圍內(nèi)具有很高的靈敏度。

有效的污染監(jiān)測(cè)
水分和空氣分子污染物 (AMC)，例如，氟化氫 (HF)，于等待時(shí)間內(nèi)，在 FOUP 槽對(duì)槽的空間里被釋放出來(lái)。而這些元素會(huì)在圖樣晶圓上生成晶體生長(zhǎng)，從而導(dǎo)致產(chǎn)量的損失和性能的退化。普發(fā)真空的 APA 302 通過(guò) FOUP 過(guò)濾器來(lái)對(duì) AMC 進(jìn)行采樣。在 ppb 的范圍內(nèi)，通過(guò)離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測(cè)、熒光紫外線(xiàn)或光腔衰蕩光譜技術(shù)，測(cè)量在 2 分鐘內(nèi)發(fā)生，具有高靈敏度。而當(dāng)負(fù)載端口上沒(méi)有 FOUP 時(shí)，APA 302 會(huì)監(jiān)控周?chē)臐崈羰噎h(huán)境。

FOUP 環(huán)境的可靠分析
為了保證性能，SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配備了自動(dòng)校準(zhǔn)功能，它會(huì)在定期的時(shí)間間隔內(nèi)被激活。對(duì)于在 APA 中對(duì) AMC 的監(jiān)控，可在有晶圓或無(wú)晶圓的 POD 中執(zhí)行。FOUP 可以手動(dòng)傳送，也可通過(guò) 2 個(gè)負(fù)載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來(lái)傳送。因此，可優(yōu)化各工藝步驟間的等待時(shí)間，污染的增加量能立刻被察覺(jué)到，且產(chǎn)量增加。


其他推薦產(chǎn)品更多>>

您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

包裝印刷網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://terraform.top,All rights reserved.

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，包裝印刷網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

請(qǐng) 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~