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沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司


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芯源微“集成電路前道芯片制程領(lǐng)域用單片式清洗機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目喜獲遼寧省科技進(jìn)步一等獎

閱讀：72發(fā)布時間：2023-10-21

　　日前，2022年度遼寧省科學(xué)技術(shù)獎名單正式公布，沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司提報的“集成電路前道芯片制程領(lǐng)域用單片式清洗機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目喜獲遼寧省科技進(jìn)步一等獎。
 
　　該項目攻克了晶圓雙面顆粒清洗等多項核心技術(shù)，成功研制了臺應(yīng)用于集成電路前道芯片制程領(lǐng)域用單片式清洗機(jī)，并在多項核心技術(shù)方面實現(xiàn)重大創(chuàng)新，相關(guān)領(lǐng)域技術(shù)空白。
 
　　項目已在中芯國際、上海華力、廈門士蘭集科等多個客戶處通過工藝驗證。產(chǎn)品滿足集成電路前道芯片制程生產(chǎn)線的工藝要求，性能穩(wěn)定，技術(shù)已經(jīng)達(dá)到水平，并獲得國內(nèi)多家 Fab 廠商的批量重復(fù)訂單，成功實現(xiàn)國產(chǎn)替代。
 
　　作為的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，芯源微將堅持自主研發(fā)，不斷深化創(chuàng)新，以時不我待的精神推進(jìn)科技自立自強(qiáng)，為客戶創(chuàng)造價值，成為受社會尊重的企業(yè)！
 

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