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捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評(píng)的如的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí)，操作性能極大地簡(jiǎn)單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其性能。 捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃...

詳細(xì)介紹

捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評(píng)的如的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí)，操作性能極大地簡(jiǎn)單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其性能。
捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)：
新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine（New Electron Optical Engine），是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。 它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動(dòng)化技術(shù)，即使改變電子光學(xué)條件，光軸的偏離也極小，大大提高了可操作性及觀察精度。 無(wú)論是誰(shuí)都可以很簡(jiǎn)便地發(fā)揮出儀器原本的功能。GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。 新開(kāi)發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺(tái)施加高達(dá)5 kV的偏壓。 因此，使用GBSH模式不需要使用專用的樣品桿就可以無(wú)縫過(guò)渡到其他模式。
分辨率 1.1 nm (0.5 kV)*1、1.0 nm*2
0.7 nm (1 kV)*1、0.7 nm*2
0.7 nm (15 kV)*1、0.6 nm*2
3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)*1
*1: Gap method、*2:Edge method
倍率 ×25 ～ ×1,000,000
加速電壓 0.01 ～ 30 kV
探針電流 數(shù) pA ～ 500 nA
檢測(cè)器（標(biāo)配） 高位檢測(cè)器(UED)、低位檢測(cè)器(LED)
電子槍 浸沒(méi)式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍
光闌角控制鏡 內(nèi)置
物鏡 超級(jí)混合式物鏡/SHL
自動(dòng)功能 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、自動(dòng)調(diào)節(jié)亮度、自動(dòng)調(diào)節(jié)襯度
大景深模式(LDF) 內(nèi)置
樣品臺(tái) 全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)
樣品移動(dòng) X:70mm  Y:50mm  Z:2 ～ 41mm   傾斜軸:-5 ～ 70° 旋轉(zhuǎn):360°
馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
樣品交換室 直徑: 100mm   　高度: 40mm
抽真空系統(tǒng) SIP、TMP、RP

 


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