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行業(yè)產(chǎn)品

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華儀行（北京）科技有限公司


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12寸晶圓顯影機(jī)

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更新時間：2023-04-10 09:42:26瀏覽次數(shù)：737次

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產(chǎn)品簡介

UNIXX DB30 型晶圓顯影機(jī)是一款針對12寸及以下尺寸晶圓的半自動系統(tǒng)，系統(tǒng)可集成顯影，清洗，干燥等模塊，同時可用于方片顯影，尺寸230mm*230mm。更新時間：2022-11-25 17:19:14主要參數(shù)：{dede:field.main/}發(fā)動機(jī)：{dede:field.engine/}操控安全：{dede:field.safe/}燈光：{dede:field.light/}外觀：{dede:field.style/}音響系統(tǒng)：{dede:field.audio/}底盤：{dede:field.bottom/}座椅：{dede:field.seat/}

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介

 

UNIXX DB30 型晶圓顯影機(jī)是一款針對12寸及以下尺寸晶圓的半自動系統(tǒng)，系統(tǒng)可集成顯影，清洗，干燥等模塊，同時可用于方片顯影，尺寸230mm*230mm。

 

n產(chǎn)品特色

 

÷ 適用*的顯影、清洗和干燥工藝

÷ 圓形晶圓可達(dá) ?300 

÷ 方形襯底可達(dá) 230 x 230 

÷ 防濺環(huán)自動升降

÷ 具有 BSR 背部清洗功能

÷ 配置低接觸離心力卡盤

÷ 可提供全自動系統(tǒng)

÷ 手動裝/卸

÷ 適用所有半導(dǎo)體材料，如硅襯底、玻璃襯底、陶瓷襯底

÷  1x 輸送臂，最多 6 條管路

÷ 不同類型的噴嘴

÷ 通過壓力罐或泵系統(tǒng)供應(yīng)化學(xué)液

÷ 具有擺動效果的旋轉(zhuǎn)電機(jī)

÷ 不同化學(xué)液分離排放（1、2 或 3 向分離）

 

n技術(shù)數(shù)據(jù)

 

÷ 襯底尺寸: 可達(dá) ?200 mm  或 150 x 150 mm 

÷ 電機(jī)轉(zhuǎn)速:  10.000 rpm，步長 1 rpm

÷ 電機(jī)加速:  40.000 rpm/sec，步長 1 rpm/sec 

÷  步進(jìn)時間: 1 到 999.9 秒，步長 0.1 秒

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