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ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)ALD-TL1200-1200-S-C

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：南京博蘊(yùn)通 ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)由滑動(dòng)管式爐、石英真空室、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)和ALD系統(tǒng)組成。

這款ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)以Kanthal A1 電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，過零

觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)

真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、等優(yōu)點(diǎn)。

開蓋保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者的安全。

型號(hào)		ALD-TL1200-1200-H-C-I			ALD-TL1200-1200-H-C-II	ALD-TL1200-1200-H-C-III
功率		4KW
TL1200 管式爐	爐管尺寸	Dia 60(OD) X1500mm			Dia 80(OD) X1500mm	Dia 100(OD) X1500mm
	外形尺（LXDXH）	1500X450X600			1500X450X600	1500X510X650
	電源電壓	220V
	相數(shù)	單相
	加熱元件	瑞典Kanthal A1 進(jìn)口電阻絲
	控制方式	采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購） FP93控溫儀表（日本島電）歐陸儀表觸摸屏儀表
	控溫模式	智能PID
	斷偶保護(hù)和顯示	有
	過溫保護(hù)	有
	過流保護(hù)	有
	控制精度	+/- 1 ℃
	觸發(fā)器	移相觸發(fā)
	電器	浙江正泰
	可控硅	106/16E 德國西門康
	溫度	溫區(qū)一：1200 ℃ 溫區(qū)二：1200 ℃
	額定溫度	溫區(qū)一：1100 ℃ 溫區(qū)二：1100 ℃
	升溫速率	≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）
	推薦升溫速率	≤15℃/ Min
	熱電偶型號(hào)	溫區(qū)一：K 型溫區(qū)二：K型
	加熱段長度	溫區(qū)一：200mm 溫區(qū)二：200 mm
	電器認(rèn)證
	四周表面溫度	≤45℃
GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)	D07-7C 質(zhì)量流量計(jì)	量程和氣體	5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型）
		耐壓	3MP
		流量控制精度	±1.0%F.S
		工作（使用）壓力	0.3MPa
		線性	±0.5%F.S.
		重復(fù)精度	±0.2% F.S
	路數(shù)	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
	接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
	系統(tǒng)工作壓力范圍	0.1~0.5 MPa
	工作溫度	5-45℃
	壓力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	靜態(tài)混氣室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 / 1/4”
VS-0.1抽氣系統(tǒng) 方案一或方案二任選一個(gè)	電源	220V
	尺寸	650X650X600 / 650X650X300
	波紋管	KF25X1000mm
	用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)	10 -1Pa
	真空擋板閥	KF25
	VRD-16真空泵（方案一）	型號(hào)		VRD-8
		極限分壓強(qiáng)		5X10-2 Pa
		進(jìn)排氣接口		KF25
		電機(jī)轉(zhuǎn)速		1440RPM
		抽氣速率		2.2L/S
		電機(jī)功率		0.4KW
	瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計(jì) （方案二）	型號(hào)		PCG554
		輸入電壓		24V 1A DC（配有220V變壓器）
		真空計(jì)接口		KF16
		數(shù)字顯示		數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
		產(chǎn)品尺寸		46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
		重量		5 lbs
		檢測氣體		可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復(fù)性好。
		是否防腐		防腐
		響應(yīng)時(shí)間		≤30ms
		測量范圍		3.8x10-5 -1125 Torr.
分子泵機(jī)組（選購）（方案一或方案二任選一個(gè)）	機(jī)組輸入電壓	380V /220V
	波紋管	KF40X1000
	真空擋板閥	KF40
	機(jī)箱尺寸	600X600X600
	分子泵（方案一）	分子泵型號(hào)		FJ620
		輸入電壓		380V
		分子泵進(jìn)氣口法蘭		DN160
		分子泵抽氣速率L/S（對空氣）		600
		分子泵極限壓強(qiáng)（Pa)		6×10-7
		冷卻方式		水冷
		冷卻水壓（MPa）		0.1-0.2
		冷卻水溫度		<25℃
		環(huán)境溫度		0~40℃
		建議啟東壓強(qiáng)		<100pa
	分子泵前級(jí)真空泵TRP-24 （方案二）	功率		0.75KW
		電壓		380V
		轉(zhuǎn)速		1450rpm
		進(jìn)氣口徑		KF25/KF40
		前機(jī)泵抽氣速率（L/S）		6
		極限壓強(qiáng)		4X10 -2Pa
	德國Pfeiffer真空泵（方案二）	電壓		220V
		功率		110W
		抽氣接口		KF40
		重量		150KG
		前機(jī)泵抽速		0.9m 3/ h
		抽氣速率（N2）		33L/S
	復(fù)合真空計(jì)	復(fù)合真空計(jì)型號(hào)		ZDF
		電源		220V 55W
		控制精度		± 1%
		真空計(jì)測量范圍		10-5 -10 5 Pa