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CPS-7000低溫真空探針臺(tái)

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產(chǎn)品型號(hào)CPS-7000

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

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更新時(shí)間:2023-08-23 14:27:33瀏覽次數(shù):187次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:419條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:錢經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述:無

詳細(xì)介紹

CPS-7000低溫真空探針臺(tái)

CPS-7000系列液氮/液氦低溫真空探針臺(tái)是Parutulab佰力博公司匠心打造的一款低溫電學(xué)測(cè)量綜合性平臺(tái),是一種利用液氮/液氦快速制并為半導(dǎo)體晶圓片、器件、材料(薄膜、納米、石墨烯、電子功能材料、超導(dǎo)材料、導(dǎo)電材料)等提供一個(gè)真空和低溫測(cè)量環(huán)境下進(jìn)行非破壞性的電學(xué)表征和測(cè)量平臺(tái)。該低溫真空探針臺(tái)可以對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行電學(xué)測(cè)量(IV、CV、DC高阻、DC低阻、RF和微波、光電效應(yīng)等),廣泛應(yīng)用于高校、科研、航空航天、院所等領(lǐng)域,是低溫薄膜材料電學(xué)測(cè)量殺手利器。

配置:

--液氮/液氦低溫探針臺(tái)

--4軸或6軸XYZ位移平臺(tái)

--VSZ70可視化視覺系統(tǒng)

--PPS-90真空輔助系統(tǒng)及真空閥門、測(cè)量控制

--LNP95液氮傳輸系統(tǒng)

--可選SRS溫控儀/Lakeshore溫控儀及傳感器

--可選不同電學(xué)測(cè)量功能套件

技術(shù)規(guī)格:

溫度范圍:80K-475K(液氮制冷),4.2K-475K(液氦制冷);

選配低溫選件后,溫度可降低到3.2K;選配高溫選件,溫度范圍為20K-675K;

控溫穩(wěn)定性:±50mK;制冷劑消耗:<1.5Lhr@LHe 0.5L/hr@LN2

降溫時(shí)間:液氦~30min to10K,~60min to 5K;液氮~45min to 110K,~60min to 80K;

較大測(cè)試樣品尺寸:直徑51mm

XYZ位移平臺(tái)行程與精度:X51mm,精度20μmY25mm,精度10μm;Z25mm,精度10μm;

頻率范圍:測(cè)量DC67GHz;真空環(huán)境:~10-5-10-6mabr;

頂部光學(xué)觀察窗:標(biāo)準(zhǔn)2.0‘’(51mm);

4個(gè)直流探針臂,較多可使用6個(gè)探針臂,每個(gè)探針臂上配有三同軸接頭及配套電纜


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