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北京卓立漢光儀器有限公司


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超高真空光學(xué)顯微鏡/光譜儀測(cè)試系統(tǒng)

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品       牌

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更新時(shí)間:2024-07-27 20:36:38瀏覽次數(shù):202次

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將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對(duì)接于超高真空系統(tǒng),可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測(cè)節(jié)點(diǎn)之一,用于材料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對(duì)外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進(jìn)行快速無損檢測(cè)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述
超高真空光學(xué)顯微鏡/光譜儀測(cè)試系統(tǒng)
Ultra-high Vacuum (UHV) Optical / Spectroscopic Microscope System
 
將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對(duì)接于超高真空系統(tǒng),可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測(cè)節(jié)點(diǎn)之一,用于材料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對(duì)外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進(jìn)行快速無損檢測(cè)。
產(chǎn)品特性和核心技術(shù)
模塊化設(shè)計(jì),光學(xué)部分相對(duì)獨(dú)立。
• 包含光學(xué)顯微鏡、激光離焦量傳感器、自動(dòng)調(diào)焦和共聚焦耦合光路等等在內(nèi)的全部光學(xué)部分全部集成于一個(gè)光學(xué)模組之中,作為整體置于超高真空腔體之外,透過視窗玻璃聚焦于真空腔內(nèi)的樣品表面。
• 不污染真空內(nèi)環(huán)境。
• 超高真空系統(tǒng)烘烤時(shí)可以整體取走,并在烘烤完畢之后方便地定位安裝。
• 可根據(jù)用戶需求,靈活配置激光器、單色儀、探測(cè)器和物鏡等光學(xué)組件。
視窗玻璃厚度像差的補(bǔ)償校正。
• 拉曼光譜的高收集效率和分辨率。
 
性能參數(shù):
 

顯微鏡模塊

高分辨鏡頭

50×,半復(fù)消色差物鏡

空間分辨率 < 2 μm

長工作距離鏡頭

工作距離:~ 120 mm

空間分辨率:~ 5 μm

拉曼激發(fā)和收集模塊

激光光源

波長:532 nm,功率:50 mW。

自動(dòng)對(duì)焦

對(duì)焦精度<0.2微米

拉曼頻移范圍

80 ~ 9000 cm-1

樣品移動(dòng)和掃描平臺(tái)

步進(jìn)電機(jī)臺(tái)

整步分辨率 1 μm。

壓電陶瓷臺(tái)

最小可移動(dòng)步長 < 10 nm

光譜儀和探測(cè)器

光譜儀

320 mm焦長單色儀,接面陣探測(cè)器。

分辨率 < 2.0 cm-1。

軟件

控制軟件

可選擇區(qū)域或點(diǎn)位自動(dòng)逐點(diǎn)光譜采集或拍照。

Mapping數(shù)據(jù)分析軟件

圖像分析:

尺寸測(cè)量
缺陷識(shí)別
光譜分析:
對(duì)光譜峰位、峰高和半高寬等進(jìn)行擬合。
計(jì)算應(yīng)力、晶化率、載流子濃度等信息。
主成分分析(PCA)和k-均值聚類處理模塊。
將擬合結(jié)果以二維圖像方式顯示。
注:上述表格中的激光波長、物鏡和單色儀等部件可以根據(jù)客戶需求調(diào)整。
測(cè)試案例:
 
超高真空共聚焦拉曼光譜測(cè)試


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