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聚焦離子束電子束雙束掃描電子顯微鏡

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*的聚焦離子束電子束雙束電鏡（FIB)；是在場(chǎng)發(fā)射電鏡基礎(chǔ)上加離子槍、氣體注射系統(tǒng)、納米操作手等，可在微觀(guān)照相的功能上拓展為對(duì)納米材料的刻蝕加工、減薄、離子注入、沉積等，是納米材料研究和應(yīng)用中日益重要的工具。

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