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行業(yè)產(chǎn)品

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廣州英鵬光電科技有限公司


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離子濺射蒸碳儀

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參   考   價: ￥ 9999

訂  貨  量: ≥1  件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地廣州市

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更新時間：2023-03-20 09:16:58瀏覽次數(shù)：180次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：197條

所在地區(qū)：廣東廣州市

聯(lián)系人：黃女士 （客服）

產(chǎn)品簡介

一般工作距離可調(diào)，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會增加。
離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn)，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結(jié)晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產(chǎn)生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結(jié)晶晶粒越細(xì)小，電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。
加速電壓為固定,也有可調(diào)的，加速電壓越高，對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。

詳細(xì)介紹

一般工作距離可調(diào)，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會增加。離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn)，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結(jié)晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產(chǎn)生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結(jié)晶晶粒越細(xì)小，電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。加速電壓為固定,也有可調(diào)的，加速電壓越高，對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。有些熱敏樣品，需要對樣品區(qū)進(jìn)行冷卻，水冷或者帕爾貼冷卻；也可以采用磁控裝置，像電磁透鏡一樣把電子偏離樣品。經(jīng)過這樣的改造，當(dāng)然會增加很高的成本?？梢栽谑灡砻鏋R射一層金屬，而沒有任何損傷！真空中的雜質(zhì)越多，鍍膜質(zhì)量越差。一般黃金比較穩(wěn)定，可以采用空氣作為等離子氣源，而其他很多靶材則需要惰性氣體為好。氣體原子序數(shù)越高，動量越大，濺射越快，但晶粒會較粗，連續(xù)成膜的膜層較厚。保持真空室的潔凈對高質(zhì)量的鍍膜有很大好處。不要讓機(jī)械真空泵長期保持極限真空，否則容易反油。

儀器尺寸 ：   340mm×390mm×300mm（W×D×H）

 真空樣品室：   硼硅酸鹽玻璃 170mm×130mm（D×H）

 蒸發(fā)材料:      碳纖維雙絲可A\B分別選擇

 操作真空：     4×10-2mbar

 工作電壓：     0-30V /AC

 蒸碳電流：     0-100A

 蒸碳時間：     0-1s

 真空泵：       2升兩級機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵(國產(chǎn)飛越VRD-8)

價格面議


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