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技術(shù)文章
激光調(diào)阻機的工作原理
點擊次數(shù)：2734 發(fā)布時間：2009-4-17
| 為了提高厚膜電路的精度，必須進行阻值調(diào)整。由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準確性，基板表面的不均勻及燒結(jié)條件的不重復(fù)性，厚膜電阻常出現(xiàn)正負誤差，如果阻值超過標(biāo)稱值將無法修正，但是，一般情況下印刷燒成后阻值低于目標(biāo)值的大約30％，所以要通過激光調(diào)整達到目標(biāo)值。 激光調(diào)阻系統(tǒng)及修調(diào)技術(shù)機理 激光修調(diào)是把一束聚焦的相干光在微機的控制下定位到工件上，使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時局部溫升使玻璃熔化，氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋，可填平基體表面被切割的介質(zhì)。 *的激光修調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用了大量的LSI、VLSI電路，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復(fù)及測量等系統(tǒng)相連接。測量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無源網(wǎng)絡(luò)組成。 *的激光修調(diào)系統(tǒng)具有多種修調(diào)功能，可以修調(diào)混合集成電路、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡(luò)、電容網(wǎng)絡(luò)、瓷基薄膜集成元件，還可以修調(diào)D/A和A/D轉(zhuǎn)換器的精度，V/F轉(zhuǎn)換器的頻率，有源濾波器的零點頻率及運算放大器的失調(diào)電壓等。同時還具有IEEE488接口，可與其他測試設(shè)備進行數(shù)據(jù)傳輸。 *的激光修調(diào)系統(tǒng)主要包括以下幾個部分： （1）激光器部分 采用氪激勵的高頻Q開關(guān)、Nd:YAG激光器，厚膜修調(diào)zui小光斑達38μm，脈沖重復(fù)頻率為500Hz～50kHz。 （2）光束定位系統(tǒng) 分為線性馬達式、開環(huán)和閉環(huán)檢流計式等?？刂乒馐赬和Y方向的位置、速度和加速度。縮短光束定位時間和修調(diào)時間，工作效率高。 （3）程控衰減系統(tǒng) 由多個衰減器組成，以控制在衰減后用于光束游動并進入紅外相機的輸出信號。 （4）修調(diào)設(shè)定器 它直接與激光器、光束定位器、分步重復(fù)臺及測量系統(tǒng)相聯(lián)接。它可以通過程序改變Q頻率、刻蝕尺寸和改變切割的修調(diào)方向，決定阻值變化，而不影響精度。另外，還具有自動校正功能，在*工作時可使修調(diào)設(shè)定值保持穩(wěn)定。 5）阻值及電壓測定裝置 采用精密電橋和矩陣組合的測試無源網(wǎng)絡(luò)，阻值測量精度可達0.02％，測量時間僅為5ms。這種設(shè)計可以防止外界干擾，且由于采用差動測量，自動消除偏離及極性轉(zhuǎn)換，還可用來測定有源電路修調(diào)時的直流電壓。 （6）自動功率測量系統(tǒng) 激光器功率測量是利用zui低限度的中斷通過測量來測定。用微機控制螺形管驅(qū)動系統(tǒng)，激光束通過衰減器內(nèi)的100％反射鏡，射向熱電偶器件，然后送到1個多量程功率計。 切割圖形 激光調(diào)阻時，被切割的電阻體圖形主要有以下幾種： （1）單刀切割電阻法 （2）雙刀切割電阻法 （3）L型刀口切割電阻法 （4）交叉對切電阻法 （5）曲線型L刀口的切法 （6）曲線型U型刀口的切法 在實際工作中，主要應(yīng)用的是前4種，對于不同的電阻應(yīng)根據(jù)其方數(shù)的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口zui為常用，而且調(diào)過的阻值穩(wěn)定性好。 |