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晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)

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晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)用于全自動(dòng)分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測(cè)定等。Si | SiC | AlN | 藍(lán)寶石（Al2O3） | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

詳細(xì)介紹

晶圓XRD的特點(diǎn)：


◇  自動(dòng)化的晶圓處理和分類系統(tǒng)（例如：盒到盒）。

◇  晶體取向和電阻率測(cè)量 

◇  晶片的幾何特征（缺口位置、缺口深度、缺口開(kāi)口角度、直徑、平面位置和平面長(zhǎng)度）的光學(xué)測(cè)定 

◇  未拋光的晶圓和鏡面的距離測(cè)量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口




的Omega-scan方法：

 

◇  高的精度 

◇  測(cè)量速度： < 5秒/樣品 

◇  易于集成到工藝線中 

◇  典型的標(biāo)準(zhǔn)偏差傾斜度（例如：Si 100）：   < 0.003 °，小于< 0.001 °。

 

更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們。



全自動(dòng)化的晶圓分揀和處理系統(tǒng)


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