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英??担◤V州)真空儀器有限公司


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MPG40x 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

好處

  • 復(fù)合真空計(jì) – 倒磁控管和皮拉尼
  • 從 5 X 10-9 mbar 至大氣氣壓的寬廣測(cè)量范圍
  • 不會(huì)出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象
  • 的點(diǎn)火屬性
  • 易于清潔
  • FPM 或金屬密封饋入裝置
  • LED 指示器,高壓時(shí)亮起
  • 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)

典型應(yīng)用

  • 高真空壓力監(jiān)控
  • 蒸發(fā)鍍?yōu)R系統(tǒng)基本壓力
  • 中真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

規(guī)格

類型 MPG400 FPM sealed MPG401 metal-sealed
測(cè)量范圍(空氣,N2 5 x 10-9 … 1000 5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)    
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±30% ≈±30%
可重復(fù)性    
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±5% ≈±5%
安裝定位 any any
容許壓力 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases) ≤10 (limited to inert gases)
容許溫度    
運(yùn)行(環(huán)境) °C +5 … +55 +5 … +55
貯存 °C –40 … +65 –40 … +65
烘烤 (1) °C 150 150
單絲溫度(皮拉尼) °C 120 120
電源電壓    
真空計(jì)上 V (dc) +15 … +30 +15 … +30
纜線最長(zhǎng)的電源裝置 (2) V (dc) +16 … +30 +16 … +30
波紋 V (p-p) ≤1 ≤1
功耗 W ≤2 ≤2
可連接的保險(xiǎn)絲 AT ≤1 ≤1
輸出信號(hào)(測(cè)量信號(hào))    
電壓范圍 V 0 … +10.5 0 … +10.5
測(cè)量范圍 V +1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6
電壓與壓強(qiáng) logarithmic, 0.6 volts per decade logarithmic, 0.6 volts per decade
錯(cuò)誤信號(hào)    
無電源 V <> <>
皮拉尼傳感器,單絲斷裂 V >9.5 >9.5
輸出電阻 ? 2 x 10 2 x 10
最小負(fù)載電阻 k? 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
反應(yīng)時(shí)間    
p > 10-6 毫巴 ms <> <>
p = 10-8 毫巴 ms ≈1000 ≈1000
識(shí)別真空計(jì) 85, referenced to supply common 85, referenced to supply common
狀態(tài)    
僅皮拉尼模式 V 0 (low) 0 (low)
復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式 V 15 … 30 (high) 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on high voltage on
電氣連接 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
傳感器電纜 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
電纜長(zhǎng)度 m ≤50 (8 x 0.14 mm2) ≤50 (8 x 0.14 mm2)
運(yùn)行電壓 kV ≤3.3 ≤3.3
運(yùn)行電流 µA ≤500 ≤500
暴露于真空的材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
內(nèi)部容積 cm³ ≈20 ≈20
重量    
DN 25 ISO-KF g ≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF g ≈720 ≈750
DN 40 CF-F g ≈980 ≈1010
保護(hù)類別 IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)    
CE 合規(guī) EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1)沒有電子元件和磁屏蔽。

2)電源單元的最小電壓必須與傳感器電纜的長(zhǎng)度成比例地增加。

零件號(hào)

MPG400 FPM sealed
零件號(hào) 明細(xì)
351-010 MPG400 真空計(jì)
351-011 MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
零件號(hào) 明細(xì)
351-020 MPG401 DN 25 ISO-KF
351-021 MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022 MPG401 DN 40 CF-F
351-023 磁屏蔽

附件

MPG400 FPM sealed
零件號(hào) 明細(xì)
351-023 磁屏蔽
MPG401 metal-sealed
零件號(hào) 明細(xì)
351-023 磁屏蔽

備件

MPG400 FPM sealed
零件號(hào) 明細(xì)
BN846469-T Spare measurement system MPG400
BN846470-T Spare measurement system MPG400 DN40 KF
BN846471-T Spare measurement system MPG400 DN40CF-F
351-994 MPG40X 點(diǎn)火單元
351-995 起輝器
351-998 維修包
351-999 維修保養(yǎng)套件
MPG401 metal-sealed
零件號(hào) 明細(xì)
BN846472-T Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF
BN846473-T Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF
BN846474-T Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F
351-994 MPG40X 點(diǎn)火單元
351-995 起輝器
351-996 MPG401 Repair set
351-997 MPG401 Maintenance set

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

三維步驟文件

視頻

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