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氣體用超小型流量傳感器 RAPIFLOW (R)

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產(chǎn)品型號(hào)FSM

品       牌

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更新時(shí)間：2023-03-07 13:37:47瀏覽次數(shù)：297次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

是壓縮空氣、氮?dú)庥贸⌒土髁總鞲衅?。輕量、高速響應(yīng)，電子部件等的吸附確認(rèn)。行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（后工序）

詳細(xì)介紹

【超小型、輕量】（FSM-X系列）
通過(guò)分離傳感頭實(shí)現(xiàn)了超小型化。
實(shí)現(xiàn)了比以往體積減少52%，輕量4G、8mm。
產(chǎn)品包括傳感頭單體和帶流路模塊兩種類(lèi)型。

【非線性特性】（FSM-X系列）
將模擬輸出作為非線性特性，提高了低流量領(lǐng)域的分辨率。

【高速響應(yīng)】（FSM-V?FSM-X系列）
實(shí)現(xiàn)了以往無(wú)法實(shí)現(xiàn)的5ms的高速響應(yīng)設(shè)計(jì)

【雙方向測(cè)量】（FSM-V?FSM-X系列）
可進(jìn)行雙方向測(cè)量，吸附確認(rèn)用途。

型號(hào) 名稱(chēng) 配管口徑（Φ、M) 備注
FSM-X流量開(kāi)關(guān)（非線性）4,5
FSM-V流量傳感器（線性）1.8,4,5
FSM-V-D顯示器-
FSM-VFMFSM?FSM-V專(zhuān)用直管型過(guò)濾器-
FSM-A模擬輸出1點(diǎn)2009年03月31日
銷(xiāo)售中止【停產(chǎn)產(chǎn)品】
代替產(chǎn)品：FSM2系列
FSM-N開(kāi)關(guān)輸出PNP 2點(diǎn)、模擬輸出1點(diǎn)2009年03月31日
銷(xiāo)售中止【停產(chǎn)產(chǎn)品】
代替產(chǎn)品：FSM2系列
FSM-P開(kāi)關(guān)輸出PNP 2點(diǎn)、模擬輸出1點(diǎn)2009年03月31日
銷(xiāo)售中止【停產(chǎn)產(chǎn)品】
代替產(chǎn)品：FSM2系列

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