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精密隔振光學(xué)平臺-光學(xué)平臺-氣浮光學(xué)平臺 h-TDI

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  氣浮減震臺

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廣州市固潤光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

精密隔振光學(xué)平臺-光學(xué)平臺-氣浮光學(xué)平臺 h-TDI系列是日本HERZ公司研發(fā)的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列改進(jìn)了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個(gè)自由度的振動(dòng)，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動(dòng)隔振性能。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述：

精密隔振光學(xué)平臺–光學(xué)平臺–氣浮光學(xué)平臺 h-TDI 系列是日本HERZ公司研發(fā)的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列精密隔振光學(xué)平臺改進(jìn)了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個(gè)自由度的振動(dòng)，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動(dòng)隔振性能。系列是日本HERZ公司研發(fā)精密隔振光學(xué)平臺的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列改進(jìn)了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個(gè)自由度的振動(dòng)，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動(dòng)隔振性能。

精密隔振光學(xué)平臺-光學(xué)平臺-氣浮光學(xué)平臺 h-TDI

Herz 光學(xué)平臺工作原理：

安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對設(shè)備造成不利影響，的解決方案則是使用光學(xué)平臺-精密減振臺-電鏡防振臺（減振臺），以便營造該設(shè)備的條件。

被動(dòng)隔振臺以其的柔和運(yùn)動(dòng)，易于移動(dòng)的形狀和適當(dāng)?shù)闹亓縼砦諅魅氲恼駝?dòng)，并消耗振動(dòng)能量進(jìn)行隔振。因此，諸如防振橡膠和空氣彈簧之類的柔軟材料以及可以輕柔移動(dòng)的零件是被動(dòng)隔振臺的重要元素。被動(dòng)隔振臺可以通過改變彈簧強(qiáng)度或增加彈簧數(shù)量來支撐數(shù)十噸的設(shè)備。

相對于防振支撐件（彈簧上）的總重量M，空氣彈簧式隔振臺旨在使靜載荷下“彈簧壓力受壓面積S"，“彈簧內(nèi)部壓力P"和“彈簧數(shù)量N（支撐件的數(shù)量）"相乘的總數(shù)值保持平衡。當(dāng)發(fā)生動(dòng)態(tài)負(fù)載情況（由于M重心的移動(dòng)而導(dǎo)致的不平衡狀態(tài)）時(shí)，可變負(fù)載分量（ΔM）由機(jī)械閥自動(dòng)校正，或者由封閉閥手動(dòng)校正以校正內(nèi)部壓力?？諝鈴椈墒礁粽衽_使用彈簧材料的粘性阻力和封閉壓力的空氣（氣體）阻力作為損失系數(shù)，為了改善隔振效果，空氣彈簧內(nèi)部容積（彈簧腔）與輔助氣罐內(nèi)部體積（阻尼室）之間通過節(jié)流孔（節(jié)流閥）彼此連接，并且通過節(jié)流孔進(jìn)行空氣阻尼。該輔助氣罐是調(diào)節(jié)自然頻率的主要因素之一。這種控制方法的優(yōu)點(diǎn)是可以通過低成本的組件配置獲得的效果，例如通過機(jī)械閥進(jìn)行壓力操作（壓力IN / OUT / EXH）以及通過節(jié)流孔或速度控制器進(jìn)行流速/流量調(diào)節(jié)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：